官方微信|手機(jī)版

石化

化工儀器網(wǎng)>行業(yè)應(yīng)用 >石油/化工檢測(cè)>化學(xué)試劑/助劑檢測(cè)>其他化學(xué)試劑/助劑檢測(cè)>正文

熱裂解–氣相色譜質(zhì)譜法定性分析拋光液中的有機(jī)成分

檢測(cè)樣品：拋光液

檢測(cè)項(xiàng)目：有機(jī)成分

方案概述：本文使用熱裂解–氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀對(duì)拋光液樣品分別進(jìn)行裂解氣模式〈EGA）分析和雙步裂解模式(Double-Shot)分析，通過(guò)譜庫(kù)檢索功能可獲得樣品中大分子聚合物和低沸點(diǎn)小分子的信息。該方法樣品用量少，操作簡(jiǎn)單，結(jié)果可靠，可較全面地定性拋光液中的有機(jī)成分。

點(diǎn)擊122次

下載0次

更新時(shí)間2025年04月16日

上傳企業(yè)島津企業(yè)管理（中國(guó)）有限公司

下載方案

芯片制造過(guò)程大致可以分為頂層設(shè)計(jì)、晶圓制造、封裝測(cè)試三大步驟，其中晶圓制造過(guò)程尤為復(fù)雜。根據(jù)不同工藝制程和技術(shù)節(jié)點(diǎn)的要求，每一片晶圓在生產(chǎn)過(guò)程中都會(huì)經(jīng)歷幾道甚至幾十道的化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工序。CMP過(guò)程可以去除晶圓表面的氧化層、硅化物、金屬殘留物等雜質(zhì)，使晶圓表面達(dá)到全局平整落差100A°-1000A°（相當(dāng)于原子級(jí)10-100 nm)的超高平整度，從而保證晶體管等器件的性能和穩(wěn)定性。

在CMP過(guò)程中，需要使用一種特殊的液體研磨劑，即拋光液。拋光液是由超細(xì)固體研磨材料和化學(xué)添加劑組成的乳白色膠體混合物，具有研磨、腐蝕溶解等作用，主要原料包括研磨顆粒、pH調(diào)節(jié)劑、氧化劑、表面活性劑和分散劑等。

拋光液種類繁多、成分復(fù)雜，了解拋光液的成分，有助于后期配方優(yōu)化，從而獲得更穩(wěn)定、高效、環(huán)保的拋光液。

本文使用熱裂解–氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀對(duì)拋光液樣品分別進(jìn)行裂解氣模式(EGA）分析和雙步裂解模式( Double-Shot)分析，EGA分析結(jié)果可通過(guò)F-Search軟件檢索獲得拋光液樣品中大分子聚合物的信息，Double-Shot分析結(jié)果可通過(guò)NIST譜庫(kù)檢索得到樣品中低沸點(diǎn)小分子和大分子聚合物裂解產(chǎn)物的信息。該方法樣品用量少，操作簡(jiǎn)單，結(jié)果可靠，可較全面地獲得拋光液的成分。

 

分享：
下載

相關(guān)產(chǎn)品清單

溫馨提示：
1.本網(wǎng)展示的解決方案僅供學(xué)習(xí)、研究之用，版權(quán)歸屬此方案的提供者，未經(jīng)授權(quán)，不得轉(zhuǎn)載、發(fā)行、匯編或網(wǎng)絡(luò)傳播等。
2.如您有上述相關(guān)需求，請(qǐng)務(wù)必先獲得方案提供者的授權(quán)。
3.此解決方案為企業(yè)發(fā)布，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由上傳企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。

島津企業(yè)管理（中國(guó)）有限公司

最新解決方案

該企業(yè)的其他方案

業(yè)界頭條

關(guān)閉
友情提示：
如果您已經(jīng)是化工儀器網(wǎng)的會(huì)員，請(qǐng)先 登錄 后留言，這有助于您便捷留言，更好地和客戶溝通。
還不是會(huì)員？ 立即 免費(fèi)注冊(cè)
提交留言