產品名稱：非接觸厚度電阻率測試儀 產品型號：JXNRT1

非接觸厚度電阻率測試儀型號：JXNRT1 
一、測試原理 
1、電阻率測試探頭原理 
電阻率測試模塊是由一對共軸渦流傳感器，以及后續(xù)的處理電路組成。將半導體硅片置于兩個探頭的間隙中時，在電磁場的作用下，半導體硅片中會產生渦流效應，通過檢測渦流效應的大小，可以換算出該硅片的電阻率和方塊電阻。本方法是一種非接觸無損測量的方法，不損傷材料表面，可以在大多數場合有效替代四探針法測試電阻率以及方塊電阻。 
2、厚度測試探頭原理 
厚度探頭采用的是一對共軸電容位移傳感器。電容傳感器具有重復性好，測試數值穩(wěn)定，技術成熟等優(yōu)點，廣泛用于各種材料厚度的測試。 
  
二、適用范圍 
本設備為非接觸無損測量設備，測試過程中對硅片表面以及內部不會造成損傷。特別適用于代替四探針法用于半導體硅片成品分選檢驗。一臺儀器可以同時對厚度和電阻率兩個指標進行測試分選，減少了測試工序和測試時間，提高了測試效率。 
典型的客戶：科研單位、硅片生產廠商、半導體器件生產廠商、光伏企業(yè)、導電薄膜生產企業(yè)。 
三、儀器構成 
1、測試主機：1 臺 
2、電源線：1 根 
3、串口數據線：1 根 
4、電腦端軟件：1 套 
5、塑料定位柱：2 個 

四、儀器外觀尺寸結構及圖片 
1、整機尺寸：340*260*180mm 
2、機箱顏色：電腦白 


3、儀器結構：本儀器采用厚度探頭和電阻率探頭前后并列安裝的方式。 
五、儀器主要指標 
1、電氣規(guī)格 
a. 使用標準三插頭，由 220V 交流電供電，整機功耗小于 15 瓦。 
b. 本儀器測試平臺和外殼均為金屬材料，按照安全規(guī)范，請確保電源地線正確連接。 
2、測試范圍 
測試樣品要求：厚度小于 600um 的半導體硅片以及其他類似材料。(為客戶提供特殊定制，厚度大的測試范圍可以擴展到 800um) 
電阻率范圍： L 檔： 0.2-5 Ω·cm 
H 檔： 5-50 Ω·cm 
注： 電阻率不在上述量程范圍內的可以按要求調整， 調整的范圍可以在0.001-100Ω*cm。 
厚度范圍： 100-600 um （定制版可以做到 300-800um） 注：普通版本厚度大于 700um 的硅片無法放入測試區(qū)域。

高頻信號發(fā)生器 型號：RSG-17
產品介紹 
RSG-17高頻信號發(fā)生器能滿足生產線,業(yè)余愛好者及維修等多方面的的頻率需求,操作者通過可調的內置調制頻率便可準確的判斷出所選頻段