AMC是什么?

AMC氣態(tài)分子污染物(Airborne Molecular Contamination)是指存在于空氣中的氣態(tài)化學(xué)物質(zhì)或揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs),可能對(duì)產(chǎn)品、制程或人員造成負(fù)面影響。這類污染物通常無法通過傳統(tǒng)的微粒過濾器(如HEPAULPA)去除，需要特殊控制措施。

AMC的種類

根據(jù)Semi F21-1016標(biāo)準(zhǔn)中所定義，AMC分為MA(酸性物質(zhì)/MB(堿性物質(zhì))/MC(凝結(jié)物質(zhì))/MD(參雜物質(zhì)/MM(金屬物質(zhì))五大類，其中包含了常見的NH3、SO2、H2S、VOCs、HF、HCI等。

AMC的來源

AMC的來源相當(dāng)廣泛，如制程使用的化學(xué)品、外氣所含的污染物、無塵室中建材釋出、人員排放等等。

AMC的影響

微小的AMC物質(zhì)進(jìn)入無塵室后，可能造成蝕刻制程不良率提高、光阻劑變質(zhì)、晶圓污染或氧化、光學(xué)鏡頭霧化等問題，甚至可能會(huì)影響到人體健康，因此，源頭管理、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與控制污染物濃度的AMC管理將成為無塵室核心的研究課題之一。

AMC在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)組成

一套完整的AMC在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，具有以下組成要件：

● 取樣系統(tǒng)：多流路取樣系統(tǒng)與取樣管路安裝，選擇不影響分析結(jié)果的材料，配合監(jiān)測(cè)點(diǎn)規(guī)劃，有效了解無塵室整體環(huán)境情況。

● 分析儀：根據(jù)客戶需求不同，Thermo Fisher可提供多種在線分析儀配置，如NH3、H2S、VOCs、各種陰陽(yáng)離子、特殊組分VOCs等，根據(jù)生產(chǎn)節(jié)點(diǎn)不同，去分析關(guān)鍵物質(zhì)與對(duì)應(yīng)濃度。

● 數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)：將不同分析儀的數(shù)據(jù)匯整并顯示出各點(diǎn)位的歷史數(shù)據(jù)，再配合傳輸要求，可將數(shù)據(jù)傳輸至客戶接收端，配合報(bào)警系統(tǒng)，有效早期預(yù)判污染物的上升趨勢(shì)，進(jìn)而調(diào)整無塵室濾材的更換頻次，大幅提高效率。