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臺(tái)階儀

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更新時(shí)間：2025/06/11 15:26:36瀏覽次數(shù)：8894

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
臺(tái)階儀能夠在同一測(cè)試平臺(tái)上運(yùn)行多種測(cè)試，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對(duì)樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測(cè)，模式切換可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。多項(xiàng)技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測(cè)儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢(shì)。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護(hù)成本，從而提高效率。

詳細(xì)介紹

臺(tái)階儀

臺(tái)階儀集合了共焦光學(xué)形貌儀，WLI白光干涉形貌儀，原子力顯微鏡，接觸和非接觸式雙模式表面形貌檢測(cè)。

項(xiàng) 目 簡(jiǎn) 述

參數(shù)說(shuō)明

1.共焦

  • 可快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)共焦技術(shù)。

  • 使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150倍) 全視野3D鏡頭，用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉測(cè)量>: 72° vs 44°) 。

  • 具有光學(xué)形貌上超高的橫向分辨率，附有5百萬(wàn)自動(dòng)分辨率的CCD相機(jī)， 空間下樣可調(diào)至0.05um，是表面特征以及形貌的測(cè)量的理想配置。

  • 在測(cè)量表面粗糙度/表面反射率上無(wú)限制

  • 應(yīng)用于透明層/薄膜。

  • 兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC。

  • 長(zhǎng)距離遠(yuǎn)攝鏡頭是用以測(cè)量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。

  • 高穩(wěn)定性。

2.干涉儀（WLI）

  • Z向高分辨率

  • 兼具相移（PSI）以及垂直掃描（VSI）模式

  • Z向分辨率可獨(dú)立放大

  • 四色CCD 相機(jī)，用戶可自選的LED光源 (白光、綠光、藍(lán)光和紅光)

  • 高達(dá)五百萬(wàn)像素的可自動(dòng)分辨的CCD 相機(jī)

  • 快速處理器

  • 自動(dòng)對(duì)焦

3.原子力顯微鏡

  • 探針掃描可用于大型模板

  • X、Y、Z三向可達(dá)原子級(jí)分辨率

  • 大壓電探針掃描XY: 達(dá)到 110x110um

4.變焦

  • 粗糙表面分析

  • 快速分析

  • 一臺(tái)設(shè)備上集成非接觸式白光干涉形貌儀 高精度原子力顯微鏡










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