STACIS^®III

STACIS^®III是的主動震動隔離系統(tǒng)。采用*的慣性震動傳感器，復(fù)雜的控制算法，和的壓電致動器，STACIS通過連續(xù)測量地板活動，擴(kuò)大和收縮壓電致動器過濾地板震動來進(jìn)行實(shí)時(shí)振動隔離。

初被設(shè)計(jì)用于*半導(dǎo)體工廠的精密顯微光刻、計(jì)量和檢測設(shè)備的隔離，STACIS現(xiàn)在是嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案，包括但不局限于半導(dǎo)體晶圓廠，失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米加工設(shè)備和材料研究。

Stacis III包括一個新型改進(jìn)的數(shù)字控制器----DC - 2020。它的前后面板上有新型雙核處理器，以太網(wǎng)和USB串口，這個新型*控制系統(tǒng)為用戶提供了一個現(xiàn)代的、易于使用的圖形用戶界面(GUI)。

Stacis III在世界各地有數(shù)百個成功安裝案例，對大部分振動敏感儀器來說都是的振動消除系統(tǒng)。

Stacis^®III優(yōu)勢

STACIS相比于氣浮支腿更加堅(jiān)固，且不存在氣浮隔振系統(tǒng)的局限性。無氣浮支撐，并且與主動的氣浮系統(tǒng)不同，STACIS可以放置在具有內(nèi)部主動空氣隔離系統(tǒng)的工具下面，且兩個系統(tǒng)均可充分使用。

*的串口設(shè)計(jì)和專有high-force壓電技術(shù)導(dǎo)致其具有大的主動帶寬0.6赫茲到150赫茲，以及從2Hz開始主動振動消除性能可達(dá)到90%。

特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)

      1、從0.6Hz開始隔離震動，1赫茲時(shí)可隔震40%到70%
      2、2Hz時(shí)在高度、水平和垂直三個方向上提供了超過90%的震動隔離
      3、減少工廠地板建設(shè)成本，使工具能夠安裝在較強(qiáng)振動環(huán)境中

      4、主動帶寬：0.6Hz到150Hz
      5、被許多工具制造商推薦
      6、6自由度活動硬性底座設(shè)計(jì)，無氣浮支撐

      7、魯棒控制系統(tǒng)，不需要預(yù)先調(diào)適
      8、可與設(shè)備內(nèi)置隔離系統(tǒng)兼容
      9、振動水平隨時(shí)間增加時(shí)確保可以滿足工具的振動標(biāo)準(zhǔn)
      10、利用TMC Stacis^®技術(shù)通過壓電陶瓷制動器來消除震動

      11、帶有基于基于計(jì)算機(jī)的圖形用戶界面(GUI)的數(shù)字控制器

      12、舊的、有噪音的地板也可以適應(yīng)*的工具

      13、兼容各種地板的高度和在晶圓廠內(nèi)各種形狀的毛地板
      14、增加產(chǎn)量，質(zhì)量和收益
      15、通過RoHS認(rèn)證

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