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如何實(shí)現(xiàn)電子行業(yè)中晶圓凸出檢測(cè)及硅片計(jì)數(shù)?倍加福微型光電來支招

2021-8-16  閱讀(841)

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倍加福, 傳感器, 電子行業(yè). 光電, 光電傳感器, 微型光電

在電子制造行業(yè)的實(shí)際應(yīng)用中,您是否也常常遇到這樣的挑戰(zhàn):例如,被檢測(cè)目標(biāo)物較小,而提供給傳感器的安裝空間卻十分有限?

在過去,光纖傳感器可能是現(xiàn)場(chǎng)工程師的"無奈之選"。光纖頭需配放大器,加之檢測(cè)小的目標(biāo)物時(shí),加配聚焦透鏡,整套方案成本陡然上升;此外,隨之而來復(fù)雜的后期產(chǎn)品設(shè)置調(diào)試,以及“考慮光纖彎曲半徑以免折斷"的安裝問題,也令現(xiàn)場(chǎng)用戶感到苦惱。

如今,倍加福專為此類應(yīng)用難題,推出 R2/R3 系列扁平型激光光電傳感器——憑借其小巧的外形,小光斑,高精度,簡(jiǎn)單易用等優(yōu)勢(shì),大大為用戶提高了檢測(cè)可靠性及生產(chǎn)效率,同時(shí),也減輕了用戶對(duì)于安裝調(diào)試的“后顧之憂"。



倍加福 R2/R3 系列微型激光光電傳感器

典型應(yīng)用

應(yīng)用一: 硅片計(jì)數(shù)

光伏硅片追溯成為越來越多設(shè)備商的明確需求,除了在上料時(shí)進(jìn)行計(jì)數(shù),還需進(jìn)一步確認(rèn)花籃內(nèi)硅片的數(shù)量,從而提高追溯的準(zhǔn)確率。硅片追溯系統(tǒng)當(dāng)然離不開 RFID,倍加福提供一整套追溯方案,IO-Link 接口的 RFID+ IO-Link 主站模塊。

當(dāng)被檢測(cè)的硅片較薄,其厚度僅約 0.16mm 時(shí),倍加福微型 OBE500-R3F-…-L 激光傳感器,以其極小的光斑配合 Teach 功能,可靠實(shí)現(xiàn)花籃內(nèi)硅片的計(jì)數(shù)。即使在配合機(jī)械移動(dòng)過程中檢測(cè),也一樣。R3F 微型激光對(duì)射采用 DuraBeam 技術(shù),光斑清晰可見便于安裝時(shí)對(duì)齊。

應(yīng)用二 :晶圓凸出檢測(cè)

中國(guó)已成為世界上芯片“加工處理"大國(guó),并正大力投資發(fā)展本國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),我們面臨更多的機(jī)遇及挑戰(zhàn)。例如,在晶圓制造與封裝測(cè)試工藝,針對(duì)晶圓有無檢測(cè)或晶圓凸出檢測(cè)應(yīng)用,又是倍加福微型激光對(duì)射型傳感器“大展身手"的另一“戰(zhàn)場(chǎng)"。

憑借該款產(chǎn)品 3mm@500mm 的激光光斑,可檢測(cè)毫米級(jí)的凸出,使用 Teach-In 功能可進(jìn)一步提升靈敏度或?qū)崿F(xiàn)更細(xì)微的凸出檢測(cè)。R3F 激光對(duì)射用作晶圓凸出檢測(cè),可謂“明察秋毫"。此外,該產(chǎn)品為扁平型,安裝簡(jiǎn)單,可省略支架。

愿與您攜手智造時(shí)代!

倍加福是工業(yè)傳感器技術(shù)和過程控制防爆領(lǐng)域的者,專業(yè)提供*全面的產(chǎn)品、技術(shù)服務(wù)。無論是接近開關(guān),光電開關(guān),編碼器,還是 RFID,視覺產(chǎn)品,工業(yè)通訊等解決方案,在電子行業(yè)整線工藝生產(chǎn)中都。倍加福為電子制造行業(yè),提供一系列完整而可靠的系統(tǒng)解決方案,同時(shí)滿足您在工業(yè) 4.0 時(shí)代下的新型應(yīng)用需求。愿和您一起智能制造新時(shí)代!


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