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目錄:北京華丞電子有限公司>>真空測量控制>> BV100 蝶閥

BV100 蝶閥

  • BV100 蝶閥
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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更新時(shí)間：2025-08-01 08:43:44瀏覽次數(shù)：154評價(jià)

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BV100 蝶閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體，平板顯示，晶體硅太陽能和工業(yè)制程中，用于控制腔室的下游壓力。

創(chuàng)新點(diǎn)

雙路自匹配壓力傳感技術(shù)

支持兩路真空規(guī)信號采集，兼容±15V或±24V真空規(guī)供電，可根據(jù)工藝需求自動(dòng)切換量程。

L-V-P壓力控制技術(shù)

壓控單元通過記錄工藝環(huán)境下壓力與閥門開度關(guān)系，采用位置、速度和壓力三環(huán)相結(jié)合，同時(shí)進(jìn)行壓位比、位壓比、目標(biāo)壓力位置、到達(dá)目標(biāo)壓力估算時(shí)長動(dòng)態(tài)計(jì)算，從而主動(dòng)干預(yù)閥口開度變化量，實(shí)現(xiàn)快速、穩(wěn)定控壓。

伺服驅(qū)動(dòng)技術(shù)

采用定制伺服控制片載系統(tǒng)，通過多點(diǎn)斜坡控制算法，實(shí)現(xiàn)蝶板更快定位，開關(guān)響應(yīng)時(shí)間可達(dá)0.2s。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體-集成電路

半導(dǎo)體顯示

技術(shù)指標(biāo)

型號 BV100
濕度

0~95%RH
接口類型

D-sub female，DA15
信號電壓

0 ~ 10VDC 線性壓力
ADC分辨率

0.1 mV
采樣時(shí)間

2ms
供電電壓( 輸出 )

+24 VDC / 1.5A max.
執(zhí)行器

步進(jìn)電機(jī)
電機(jī)分辨率

12800( 90°）
控壓精度

5 mV 或設(shè)定點(diǎn)的0.1%，取大值
防護(hù)等級 IP 40
通道內(nèi)徑

40mm/50mm/63mm/80mm/100mm
閥板開關(guān)時(shí)間 0.2s

注意：

蝶閥出廠通常用電壓對傳感器信號進(jìn)行標(biāo)定

氣體壓力的單位規(guī)定為:  Torr (托)

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:  溫度 -- 273.15K (0℃) ; 氣壓 -- 101325 Pa(760mm Hg)

F.S.(Full Scale): 滿量程值;  S.P.(Set Point):  設(shè)定點(diǎn)值

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