目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>等離子鍍膜儀>> CY-PLZ180-III-DC-Q三靶等離子濺射鍍膜儀（增強型）
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,能源,建材/家具,電子/電池,鋼鐵/金屬 |
本型號小型等離子濺射儀，采用二級濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產(chǎn)生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。本型號儀器還配有旋轉(zhuǎn)樣品臺，能夠有效的提升鍍膜的均勻性。（本設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺，可以提升鍍膜的均勻性和薄膜的附著力）該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱 三靶等離子濺射鍍膜儀（增強型） 產(chǎn)品型號 CY-PLZ180-III-DC-Q 樣 品 臺 尺寸 100mm 旋轉(zhuǎn)速度 1~20rpm可調(diào) 加熱溫度 ≤500℃ 控溫精度 ±1℃ PID控溫 等離子濺射靶 數(shù)量 2英寸x3 冷卻方式 水冷 真空腔體 腔體尺寸 φ180mm X 200mm 觀察窗口 全向可視 腔體材料 高純石英 開啟方式 頂蓋拆卸式 上下蓋材質(zhì) 304不銹鋼 抽氣接口 KF25 進氣接口 1/4英寸卡套接頭 電源配置 數(shù)量 直流電源x1 輸出功率 *大150W 濺射電源 3000V *大濺射電流 50mA 真空系統(tǒng) 真空泵類型 雙極旋片真空泵 抽氣接口 KF25 排氣接口 KF16 抽氣速率 1.1L/s（4m3/h） 極限真空度 ≥0.1Pa 真空測量 電阻真空規(guī) 其 他 供電電源 AC 220V 50Hz 整機功率 2kW 整機尺寸 550mm X 450mm X550mm 整機重量 30kg
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