目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>勻膠機(jī)旋涂儀>> CY-SPC8-PTFE防腐蝕勻膠機(jī)
防腐蝕勻膠機(jī)主要特點:
1.表殼和旋轉(zhuǎn)盤由聚丙烯(PP)制成,可抵抗大部分腐蝕性溶液。
2.數(shù)字控制箱與旋涂機(jī)分開。
3.標(biāo)配一個過濾器。它用于連接泵和涂布機(jī),以防止廢水流入泵。
4.標(biāo)配無油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺,防止飛片。
5.帶真空和蓋子開關(guān)互鎖功能,確保操作穩(wěn)定。
6.內(nèi)腔直徑150mm,PP防腐真空吸盤Φ100mm,可處理碎片(小于1cm)至6英寸圓晶底物。
7.數(shù)字控制面板,帶有6個可編程段,可實現(xiàn)不同的旋轉(zhuǎn)時間和速度。
8.電機(jī)啟動快速穩(wěn)定,可以保證圖層厚度的一致性和均勻性。
 
 

 
 
| 項目 | 明細(xì) | |
| 旋涂儀 | 供電電壓 | AC220V,50Hz | 
| 轉(zhuǎn)速 | 0~10000rpm | |
| 加速度 | 100~5000rpm/s | |
| 轉(zhuǎn)速分辨率 | 1rpm | |
| 單步時間 | 3000s | |
| 基片尺寸 | 直徑≤8英寸(200mm) | |
| 腔體材質(zhì) | 聚四氟 | |
| 操作方式 | 7寸高清LCD觸控屏 | |
| 滴膠方式 | 手動滴膠,可選購精密注射泵 | |
| 勻膠曲線 | 每條曲線5段,共可儲存5條曲線 | |
| 抽氣接口 | φ8mm 快擰接口 | |
| 整機(jī)尺寸 | 290mm×365mm×310mm | |
| 整機(jī)重量 | 12kg | |
| 排氣系統(tǒng) | 真空泵 | 干式機(jī)械泵 | 
| 抽氣速率 | 50L/min | |
| 供電電源 | AC220V 50/60Hz | 
 
 
 
 
 
 
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