目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>勻膠機(jī)旋涂儀>> CY-SPC4-SS-JH凈化旋涂儀勻膠機(jī)帶加熱臺
凈化旋涂儀勻膠機(jī)帶加熱臺廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等，例如對大型晶圓、芯片、晶片等進(jìn)行工藝制版時，可用此設(shè)備進(jìn)行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠； 是集成電路及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中涂覆勻膠的專用設(shè)備 。該設(shè)備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺，可分別獨(dú)立工作，也可兩臺同時工作
產(chǎn)品名稱 | 凈化旋涂儀帶加熱臺 | |
產(chǎn)品型號 | CY-SPC4-SS-JH | |
勻膠機(jī) | 電源電壓 | AC220V, 50Hz |
旋轉(zhuǎn)速度 | 0~9999rpm, adjustable | |
加速度 | 100~5000rpm/s | |
速度分辨率 | 1rpm | |
時間分辨率 | 1s | |
單步時間 | 3000s | |
基片尺寸 | 直徑≤4英寸（100mm） | |
腔體材質(zhì) | 亞克力 | |
操作方式 | 按鍵+液晶屏 | |
點(diǎn)膠方式 | 手動點(diǎn)膠，可選精密注射泵 | |
勻膠曲線 | 每條曲線5段，共可存儲5條曲線 | |
抽氣口 | φ6mm快擰接口 | |
真空吸盤 | 直徑10mm, 25mm, 55mm | |
整體尺寸 | 210mm×250mm×180mm | |
加熱板 | 加熱板尺寸 | 150*150mm |
加熱溫度 | RT~300C | |
溫度分辨率 | 0.1C | |
控溫精度 | ±1C | |
溫度均勻性 | <±2C | |
電源 | AC220V, 50Hz | |
凈化柜 | 尺寸 | 800*680*1700mm |
內(nèi)部布局 | 內(nèi)部左側(cè)放4英寸亞克力腔體勻膠機(jī)，右側(cè)放加熱板 | |
凈化等級 | 美國標(biāo)準(zhǔn)99% | |
照明 | 內(nèi)置LED照明燈 | |
排氣系統(tǒng) | 真空泵 | 干式機(jī)械泵 |
抽氣速率 | 50L/min | |
電源 | AC220V, 60Hz | |
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