目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>二合一鍍膜儀>> CY-MS500S-2TA1S等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀
| 參考價(jià) | ￥ 50000 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
| ￥50000 |
| ≥1件 |
更新時(shí)間：2025-09-06 12:06:43瀏覽次數(shù)：158評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,能源,建材/家具,電子/電池,鋼鐵/金屬 |
簡(jiǎn)單介紹：
等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件，不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜，也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。儀器元件高度集成化，在同一個(gè)腔體內(nèi)即實(shí)現(xiàn)了兩種鍍膜功能；本鍍膜儀采用304不銹鋼腔體作真空腔體，鍍膜過(guò)程可見(jiàn)。儀器標(biāo)配雙極旋片真空泵，能夠快速達(dá)到1.0E-3Pa的真空度,極限真空度1.0E-5Pa，可滿足大多數(shù)蒸發(fā)鍍膜實(shí)驗(yàn)和二極濺射實(shí)驗(yàn)所需的真空環(huán)境。本儀器體積小，節(jié)省空間，能夠置于試驗(yàn)臺(tái)上使用，一機(jī)多用，性價(jià)比突出，非常適合各大高校及研究機(jī)構(gòu)選用。
詳情介紹：
等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀可在金屬表面鍍制各種功能薄膜，如在不銹鋼表面鍍制氮化鈦硬質(zhì)薄膜，以提高其表面硬度和耐磨性；在銅表面鍍制銀膜，可改善其導(dǎo)電性。
用于制備半導(dǎo)體薄膜，如硅薄膜、鍺薄膜等，是制造半導(dǎo)體器件如晶體管、集成電路等的重要工藝之一。還可通過(guò)鍍制不同的半導(dǎo)體薄膜來(lái)改變材料的電學(xué)性能，滿足不同器件的需求。
適用范圍：
掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作，以及非導(dǎo)體材料試驗(yàn)電極的制作等。
技術(shù)參數(shù)：
供電電壓 | AC220V，60Hz |
*大功率 | 1200W |
樣品臺(tái) | 直徑φ65mm； 與蒸發(fā)源間距可調(diào)，調(diào)節(jié)范圍60mm-100mm |
真空腔體 | 材質(zhì)：304不銹鋼 O.Dφ168mm x I.Dφ160mm x 210mm |
*高溫度 | 1700℃ |
熱電偶 | B型熱電偶 |
真空計(jì) | 電子式真空計(jì) |
真空系統(tǒng) | 前級(jí)泵：浦發(fā)MVP030 無(wú)油泵 抽速30L/min 次級(jí)泵：萊寶TURBOVAC 90iX 抽速90L/s |
真空接口 | KF40 |
進(jìn)氣接口 | 1/4卡套接頭 |
整機(jī)尺寸 | 500x350x400mm |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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