目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>二合一鍍膜儀>> CY-EVS180G-LV等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜機(jī)
| 參考價(jià) | 面議 | 
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更新時(shí)間:2025-09-07 15:32:56瀏覽次數(shù):109評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 1-5萬(wàn) | 
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 | 
等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜機(jī)配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。儀器元件高度集成化,在同一個(gè)腔體內(nèi)即實(shí)現(xiàn)了兩種鍍膜功能;本鍍膜儀采用高純石英腔體作真空腔體,鍍膜過(guò)程可見(jiàn)。儀器標(biāo)配雙極旋片真空泵,能夠快速達(dá)到1.0E-1Pa的真空度,可滿足大多數(shù)蒸發(fā)鍍膜實(shí)驗(yàn)和二極濺射實(shí)驗(yàn)所需的真空環(huán)境。本儀器體積小,節(jié)省空間,能夠置于試驗(yàn)臺(tái)上使用,一機(jī)多用,性價(jià)比突出,非常適合各大高校及研究機(jī)構(gòu)選用。
等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜機(jī)適用范圍:
掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導(dǎo)體材料試驗(yàn)電極的制作等。
小型二合一鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
| 小型二合一鍍膜儀 | ||||
| 樣品臺(tái) | 尺寸 | φ80mm | 至蒸發(fā)源間距 | 20mm~50mm可調(diào) | 
| 直流濺射頭 | 數(shù)量 | 2"×1 | 
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| 蒸發(fā)系統(tǒng) | 蒸發(fā)源 | 鎢絲籃 | *高溫度 | 1700℃ | 
| 熱電偶 | S型熱電偶 | 
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| 真空腔體 | 腔體尺寸 | φ180mm×150mm | 觀察窗口 | 全向透明 | 
| 腔體材料 | 高純石英 | 開(kāi)啟方式 | 頂蓋拆卸式 | |
| 真空系統(tǒng) | 機(jī)械泵 | 旋片泵 | 抽氣接口 | KF16 | 
| 真空測(cè)量 | 電阻規(guī) | 排氣接口 | KF16 | |
| 極限真空 | 1.0E-1Pa | 供電電源 | AC;220V 50/60Hz | |
| 抽氣速率 | 旋片泵:1.1L/S | |||
| 濺射電源配置 | 數(shù)量 | 直流電源×1 | *大輸出功率 | 150w | 
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 其他 | 供電電壓 | AC220V,50Hz | 整機(jī)尺寸 | 360mm×300mm×470mm | 
| 整機(jī)功率 | 1.5kw | 整機(jī)重量 | 20kg | |
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