目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>勻膠機(jī)旋涂儀>> CY-SPC4-SS-JH凈化型4寸勻膠機(jī)旋涂儀
凈化型4寸勻膠機(jī)旋涂儀特點(diǎn)：
1、帶有100級空氣凈化裝置，可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵，防止勻膠過程中的雜質(zhì)污染。
2、設(shè)置有LED照明燈，可程控照明，非常方便日常操作。
3、可設(shè)置時(shí)間--轉(zhuǎn)速曲線，程序控制勻膠工藝。
4、7英寸液晶顯示屏，操作簡單易學(xué)無需專業(yè)學(xué)習(xí)。
5、采用無刷伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
6、機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、生銹，便于清洗。
7、排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。
8、透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。
9、前面板設(shè)置有電動玻璃屏升降按鈕，可電動升降前擋玻璃板。
凈化型4寸勻膠機(jī)旋涂儀主要技術(shù)參數(shù)：
勻膠時(shí)間 | 1-99秒 |
勻膠轉(zhuǎn)數(shù) | 0-8000轉(zhuǎn)/分 |
操作區(qū)風(fēng)速 | 0.3-0.5米/秒(有效操作區(qū)氣流狀態(tài)：垂直層流()適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠 |
凈化效果 | 100級（美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)） |
外形尺寸 | 650x750x1620mm |
外體顏色 | 亞白色 |
控制范圍和精度 | 轉(zhuǎn)速控制范圍為：500-8000轉(zhuǎn)，精度為±3% |
時(shí)間控制范圍為 | 1-99秒，精度為±5% |
轉(zhuǎn)速調(diào)整 | 采用PID調(diào)節(jié)，精度高 |
轉(zhuǎn)速查看智能化 | 可自動識別哪個(gè)電機(jī)開或關(guān)，自動轉(zhuǎn)換到開啟的電機(jī)上?？捎柘冗x定，也可在運(yùn)行中隨時(shí)查看任一電機(jī)的轉(zhuǎn)速 |
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