目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>勻膠機旋涂儀>> CY-SPC6F-AL-UL全自動超聲波氣氛加熱勻膠機
全自動超聲波氣氛加熱勻膠機是一種小型、靈活的旋轉(zhuǎn)勻膠設備，可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上，進而通過高速旋轉(zhuǎn)使得膠液均勻涂覆在基片上。也可以單獨進行旋涂操作。腔體內(nèi)布有加熱元件，可在勻膠后進行烤膠操作。產(chǎn)品帶有兩路浮子流量計控制的氣路，可將惰性氣體通入腔體內(nèi)，在勻膠時保護膠液不收空氣中的氣體影響。此款勻膠機適用于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝、制版的表面涂覆?？蓜蚰z最大圓晶尺寸為6英寸，轉(zhuǎn)速可達10000rpm，加速度可達5000rpm；具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定，啟動迅速，操作方便等優(yōu)點，并能保證勻膠厚度的一致性和均勻性，是一款性能優(yōu)良的產(chǎn)品。
全自動超聲波氣氛加熱勻膠機產(chǎn)品特征：
1. 采用直流無刷電機，單片機控制
2. 高清晰觸摸屏控制
3. 可進行單步多步勻膠操作，可存儲五種程序，每種程序可設置五步操作
4. 防堵膠設計
5. 鋁合金腔體，堅固耐用
6. 帶有超聲波，氣氛，加熱等多種輔助功能，為勻膠研究進行多種輔助
產(chǎn)品參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 超聲波輔助氣氛勻膠機 | |
產(chǎn)品型號 | CY-SPC6F-AL-UL | |
勻膠機 | 圓晶尺寸 | 6英寸 |
旋轉(zhuǎn)速度 | 100~10000rpm可調(diào) | |
旋轉(zhuǎn)加速度 | 100~5000rpm/s可調(diào) | |
單次*長勻膠時間 | 3000s | |
勻膠腔體尺寸 | Φ200mm* 90mm | |
電壓 | 220V 50Hz | |
功率 | 400W | |
加熱溫度 | 0-100℃ | |
質(zhì)保時間 | 易損件除外，1年，終身技術(shù)支持 | |
超聲波系統(tǒng) | 霧化頭材質(zhì) | 鈦合金 |
頻率 | 40kHz | |
功率 | 130W | |
流量 | 0.55mL/s | |
微粒直徑 | 25um | |
霧化頭類型 | 錐型 | |
霧化頭重量 | 0.3kg | |
超聲波電源尺寸 | 315*312*135mm | |
超聲波電源重量 | 5kg | |
注射泵 | 流量范圍 | 0.001uL/min-43.349mL/min |
掉電記憶工能 | 保存設置參數(shù)，重新上電后，無需設置 | |
適用進樣器規(guī)格 | 10uL-1000uL | |
適用注射器規(guī)格 | 1mL-60mL | |
線速度范圍 | 5um/min-65um/min | |
線速度調(diào)節(jié)分辨率 | 5um/min | |
*大行程 | 140mm | |
行程分辨率 | 0.156um | |
額定線性推力 | ＞90N | |
流量計 | 控制氣體種類 | 2種 |
氣體流速 | 16-160mL/min | |
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