目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>二合一鍍膜儀>> TN-PEC250G-HV碳鎢蒸發(fā)等離子濺射復(fù)合鍍膜儀
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 1-5萬 | 
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 | 
TN-PEC250G-HV碳鎢蒸發(fā)等離子濺射復(fù)合鍍膜儀可進行真空蒸碳、真空熱蒸發(fā)和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理。通過更換功能套件,設(shè)備可以在多種功能間快速切換,非常適合實驗室制作SEM樣品使用。本儀器裝有機械泵和分子泵,能夠滿足多種真空度要求,尤其能夠?qū)崿F(xiàn)高真空,能夠有效提高鍍膜質(zhì)量。  
○ 適用范圍
實驗室鍍膜使用。
碳鎢蒸發(fā)等離子濺射復(fù)合鍍膜儀 技術(shù)參數(shù)
| 真空腔體 | 高純石英,鐘罩狀,φ250x340mm | 
| 蒸發(fā)腔體 | 高純石英,鍍罩狀,帶側(cè)面開孔,尺寸φ88x150mm | 
| 等離子濺射腔體 | 高純石英,鍍罩狀,帶側(cè)面開孔,尺寸φ88x150mm | 
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   | 等離子濺射套件 濺射電壓1600V *大電流50mA 靶面尺寸2英寸   工作真空10Pa~20Pa 工作氣氛需通入高純氬氣   | 
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 熱蒸發(fā)鍍膜套件 蒸發(fā)源數(shù)量2個 *大電流100A 工作真空10^-3Pa 工作氣氛不通入任何氣體 樣品臺直徑φ60mm,可旋轉(zhuǎn)   
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   | 碳蒸發(fā)套件 蒸發(fā)方式碳棒蒸發(fā) *大電流160A 工作真空10^-3Pa   工作氣氛不通入任何氣體 | 
| 真空系統(tǒng) | 產(chǎn)品型號TN-GZK103-A 分子泵渦輪分子泵 前極泵雙極旋片泵 抽氣速率分子泵:600L/S綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa 旋片泵:1.1L/S 極限真空5×10E-4Pa 抽氣接口KF40 排氣接口KF16 真空測量復(fù)合真空計 | 
| 進氣系統(tǒng) | 配有手動微調(diào)閥,接口為1/4英寸卡套接頭 | 
| 供電要求 | AC 220V 50Hz | 
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