目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>二硫化鉬制備>> 二維硫化鉬生長設備
該二維材料生長設備由預熱爐、反應爐，真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)以及軌道支架五部分組成。前端配的預熱爐能夠用來預熱蒸發(fā)固態(tài)源，反應爐能夠提供反應所需的熱環(huán)境。兩臺電爐均安裝在滑軌支架上，可以實現(xiàn)快速升降溫，提升實驗效率。爐管內配有熱電偶測溫，可以準確控制反應條件。所有電路均采用高清全彩觸摸屏控制，操作簡單直觀易于上手。
供氣系統(tǒng)采用兩路質量流量計，流量控制精密，操作簡單直觀；真空系統(tǒng)采用高品質雙極旋片真空泵，真空度可達1.0E-1Pa，滿足CVD晶體生長實驗的需要。
二維硫化鉬生長設備用途：
本產品主要應用于二維材料的CVD法生長實驗，尤其適合二維硫化鉬的制備。
二維硫化鉬生長設備技術參數(shù)：
| 預熱爐 | 產品型號 | CY-O1200-100I-T-S |
| 爐膛長度 | 300mm | |
| 加熱區(qū)長 | 200mm | |
| 恒溫區(qū)長 | 100mm | |
| 工作溫度 | 0～1100℃ | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | |
| 顯示模式 | LCD（高清全彩觸摸屏） | |
| 供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |
| 單溫區(qū)管式爐 | 產品型號 | CY-O1200-100I-T |
| 爐膛長度 | 440mm | |
| 加熱區(qū)長 | 400mm | |
| 恒溫區(qū)長 | 200mm | |
| 工作溫度 | 0～1100℃ | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | |
| 顯示模式 | LCD（高清全彩觸摸屏） | |
| 供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |
| 爐管 | 爐管材質 | 高純石英 |
| 爐管長度 | φ100mm x 1800mm | |
| 密封方式 | 304不銹鋼真空水冷法蘭 | |
| 法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭 | |
| 供氣系統(tǒng) | 兩路質子流量計 | 北京七星華創(chuàng)，質子流量計 |
| 流量范圍 | MFC1量程：0~200SCCM MFC2量程：0~200SCCM | |
| 測量精度 | ±1.5%F.S | |
| 重復精度 | ±0.2%FS | |
| 線性精度 | ±1%F.S. | |
| 響應時間 | ≤4s | |
| 工作壓力 | -0.15Mpa~0.15Mpa | |
| 流量控制 | LED高亮數(shù)碼管顯示，按鍵調節(jié) 每路氣體含有針閥單獨控制 | |
| 進氣接口 | 可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管 | |
| 出氣接口 | 可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管 | |
| 連接方式 | 雙卡套接頭 | |
| 工作溫度 | 5~45℃ | |
| 氣體預混 | 配氣體預混裝置 | |
| 排氣系統(tǒng) | 機械泵 | 旋片泵 |
| 抽氣速率 | 4L/S | |
| 排氣接口 | KF16 | |
| 真空測量 | 電阻規(guī) | |
| 極限真空 | 1.0E-1Pa | |
| 供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |
| 抽氣接口 | KF16 | |
| 軌道 | 軌道長度 | 1.8m~2m 能實現(xiàn)兩個爐子一個爐位長度的滑動，實現(xiàn)快速升降溫 |
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