目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>>晶圓CVD設(shè)備>> 晶圓級(jí)PECVD氣相沉積設(shè)備
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更新時(shí)間：2025-09-06 20:48:25瀏覽次數(shù)：138評(píng)價(jià)
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晶圓級(jí)PECVD氣相沉積設(shè)備（1150 三溫區(qū) 3路MFC）
本設(shè)備為基于CVD原理設(shè)計(jì)的晶圓級(jí)大尺寸二硫化鉬制備裝置。包括三溫區(qū)管式爐，特殊設(shè)計(jì)的爐管及配套氣路一組。該設(shè)備通過特殊設(shè)計(jì)的管路，能夠?qū)⒎磻?yīng)氣體均勻的釋放于爐管，確保后端晶圓上的產(chǎn)物的一致性和均勻性。是二硫化鉬制備實(shí)驗(yàn)的。
特點(diǎn)
1.特殊管路設(shè)計(jì)，反應(yīng)氣體均勻的釋放
2.二硫化鉬制備
晶圓級(jí)PECVD氣相沉積設(shè)備技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號(hào) | CY-O1200-120III-IC-3Z-MoS2 |
爐管材質(zhì) | 高純石英 |
爐管規(guī)格 | 外部大石英管 φ120mm x1000mm 內(nèi)部小石英管 φ25mm x820mm x7根 |
溫區(qū)長度 | 三溫區(qū)200mm+200mm+200mm |
控溫精度 | ±1℃ |
溫度曲線 | 三溫區(qū)獨(dú)立控溫，每個(gè)溫區(qū)均可設(shè)置30段時(shí)間溫度曲線 |
工作溫度 | 0~1150℃ |
升溫速率 | ≤10℃/min |
進(jìn)氣系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計(jì)Ar氣0~500sccm N2氣0~200sccm H2氣0~200sccm 配有七路分氣、混氣氣路及混氣灌。 |
爐管法蘭 | 不銹鋼水冷法蘭，配有KF16真空接口，機(jī)械式真空計(jì)及不銹鋼針閥 |
供電要求 | AC 220V 50Hz 4kW |
控制方式 | 7英寸觸控屏 |
真空泵 | 雙極旋片真空泵 |
真空度 | 理論極限真空度10^-1Pa |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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