目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>磁控濺射鍍膜儀>> CY-MSH325-III-DCDCRF-SS3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀是一種三頭1"射頻等離子體磁控濺射系統(tǒng)，設(shè)計(jì)用于非金屬薄膜涂層，主要用于多層氧化物薄膜。緊湊型磁控濺射鍍膜儀是研究新一代氧化薄膜*具成本效益的涂膜機(jī)?？筛鶕?jù)金屬薄膜沉積要求選擇直流磁控濺射，可配置3個直流、1個射頻/ 2個直流和2個射頻/ 1個直流濺射頭。
緊湊型磁控濺射鍍膜儀應(yīng)用領(lǐng)域：
這款緊湊型3靶磁控濺射鍍膜機(jī)專為在氧化物單晶基板上涂覆氧化物薄膜而設(shè)計(jì)，通常不需要高真空設(shè)置。
3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀技術(shù)規(guī)格：
項(xiàng)目 | 明細(xì) | |
產(chǎn)品型號 | CY-MSH325-III-DCDCRF-SS | |
供電電壓 | AC220V，50Hz | |
整機(jī)功率 | 4KW | |
系統(tǒng)真空 | ≦5×10-4Pa | |
樣品臺 | 外形尺寸 | φ140mm |
加熱溫度 | ≦500℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
可調(diào)轉(zhuǎn)速 | ≦20rpm | |
磁控靶槍 | 靶材尺寸 | 直徑Φ50.8mm，厚度≦3mm |
冷卻模式 | 循環(huán)水冷 | |
水流大小 | 不小于10L/Min | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ325mm，高度500mm |
腔體材質(zhì) | SUU304不銹鋼 | |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
開啟方式 | 頂開式 | |
氣體控制 | 1路質(zhì)量流量計(jì)用于控制Ar流量，量程為:200SCCM | |
真空系統(tǒng) | 配分子泵系統(tǒng)1套，氣體抽速600L/S | |
膜厚測量 | 可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ? | |
濺射電源 | 直流電源500W*2,射頻電源500W | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng) | |
設(shè)備尺寸 | 600mm × 650mm × 1280mm | |
設(shè)備重量 | 350kg | |
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