目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>磁控濺射鍍膜儀>> CY-MSH300P-II-DCRF-SS帶偏壓雙靶磁控鍍膜儀
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
帶偏壓雙靶磁控鍍膜儀為我公司研發(fā)的配有兩個靶位的小型實(shí)驗(yàn)室用鍍膜儀，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜等。磁控濺射相較于普通的等離子濺射擁有能量高速度快的優(yōu)點(diǎn)，鍍膜速率高，樣品溫升低，是典型的高速低溫濺射
磁控鍍膜儀典型應(yīng)用：
• 科研領(lǐng)域：納米材料、薄膜器件、光學(xué)涂層等研究。
• 電子行業(yè)：半導(dǎo)體、傳感器、導(dǎo)電薄膜制備。
• 教學(xué)演示：材料科學(xué)、真空技術(shù)實(shí)驗(yàn)教學(xué)。
• 以下是磁控鍍膜儀的典型實(shí)用案例，涵蓋科研、工業(yè)及教學(xué)領(lǐng)域，體現(xiàn)其多功能性和廣泛應(yīng)用價值：
帶偏壓雙靶磁控鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
項(xiàng)目 | 明細(xì) | |
產(chǎn)品型號 | CY-MSH300P-II-DCRF-SS | |
供電電壓 | AC220V，50Hz | |
整機(jī)功率 | 3KW | |
極限真空度 | 10-6torr | |
載樣臺參數(shù) | 尺寸 | φ140mm |
加熱溫度 | *高500℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
轉(zhuǎn)速 | 1-20rpm可調(diào) | |
磁控濺射頭參數(shù) | 數(shù)量 | 2個2"磁控濺射頭 |
冷卻方式 | 水冷，所需流速10L/min | |
水冷機(jī)規(guī)格 | 10L/min流速的循環(huán)水冷機(jī) | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ300mm X 300mm H |
腔體材料 | 不銹鋼 | |
觀察窗口 | φ100mm | |
開啟方式 | 上頂開式，便于更換靶材 | |
氣體流量控制器 | 2路分別通Ar，N2； 量程均為0-100sccm | |
真空泵 | 配有一套分子泵系統(tǒng)，抽速600L/S | |
膜厚儀 | 石英振動薄膜測厚儀一臺，分辨率0.10? | |
濺射電源 | 直流電源一臺，1000W，適用于制備金屬膜 射頻電源一臺，500W，適用于非金屬鍍膜 | |
操作方式 | 面板按鈕操作 | |
整機(jī)尺寸 | 1400mm X 750mm X 1300mm | |
整機(jī)重量 | 300kg | |
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