目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>磁控濺射鍍膜儀>> CY-MSZ210-I I -DCDC-SS桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
本設(shè)備為桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀，可用于金屬薄膜的制備，在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用，也可實(shí)驗室SEM樣品制備。
本套配置采用高真空不銹鋼腔體，前開門式設(shè)計，門上配有石英觀察窗，便于實(shí)驗的觀察記錄。同時設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺，可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質(zhì)量。頂蓋上裝有一套擋板，可通過轉(zhuǎn)動擋板切換兩支靶，實(shí)現(xiàn)多層鍍膜。
本設(shè)備需要配合高真空分子泵組一起使用，用戶可以選擇進(jìn)口品牌小型分子泵以進(jìn)一步節(jié)省安裝面積。同時該型號可選配膜厚儀組件，可實(shí)時監(jiān)測膜厚數(shù)據(jù)，為實(shí)驗工藝提供可靠參數(shù)。
產(chǎn)品名稱 | 桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號 | CY-MSZ210-I I -DCDC-SS | |
樣品臺 | 外形尺寸 | φ60mm |
加熱溫度 | ≦500℃ | |
可調(diào)轉(zhuǎn)速 | ≦20rpm | |
磁控靶槍 | 配兩支2英寸磁控靶，靶材尺寸:直徑50.8mm，厚度≦3mm | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ210mm X260mm |
觀察窗口 | 全向透明 | |
腔體材料 | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 上蓋拆卸式 | |
真空系統(tǒng) | 前級泵 | 低噪音雙極旋片泵 |
分子泵 | 低噪音大抽速渦輪分子泵 | |
真空測量 | 復(fù)合真空計，量程:10-5~105Pa | |
抽氣接口 | KF16 | |
抽氣接口 | KF40 | |
排氣接口 | KF16 | |
系統(tǒng)真空 | 1.0×10-4Pa | |
供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 分子泵抽速600L/s，前級泵抽速1.1L/s | |
電源配置 | 電源數(shù)量 | 直流電源兩套 |
輸出功率 | 500W | |
其他參數(shù) | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
整機(jī)功率 | 2kW | |
整機(jī)尺寸 | 550mm X 350mm X400mm | |
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