目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>石墨烯制備>> CY-O1200-50SDM小型雙爐體滑道管式爐
小型雙爐體滑道管式爐同時可選擇電動滑軌、質(zhì)量流量計(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建CVD系統(tǒng)。
該設備可用于石墨烯制備、硫化物制備等。
小型雙爐體滑道管式爐技術參數(shù):
     微    型    管    式    爐    產(chǎn)品型號    CY-O1200-50SDM    爐管材質(zhì)    高純石英    爐管直徑    50mm    爐管長度    1400mm    加熱區(qū)長    300mm    恒溫區(qū)長    200mm    工作溫度    0~1100℃    控溫精度    ±1℃    控溫模式    30段或50段程序控溫    顯示模式    高亮數(shù)碼管數(shù)字顯示    密封方式    304不銹鋼真空法蘭    法蘭接口    1/4英寸卡套接頭,KF16/25/40接頭    可抽真空    4.4E-3Pa    供電電源    AC:220V 50/60Hz    供    氣    系    統(tǒng)    產(chǎn)品型號    CY-3Z    氣體通道    3通道    測量部件    氣體質(zhì)量流量計    測量量程    A通道:0~100SCCM    H2氣    備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明??筛鶕?jù)客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。    B通道:0~300SCCM    N2氣    C通道:0~500SCCM    Ar氣    測量精度    ±1.0%F.S    管道耐壓    3MPa    工作壓差    50~300KPa    連接管道    304不銹鋼    控制閥門    304不銹鋼針閥    接口規(guī)格    進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭    供電電源    AC:220V 50/60Hz    排    氣    系    統(tǒng)    機械泵    旋片泵    抽氣速率    4L/S        排氣接口    KF16    真空測量    電阻規(guī)    極限真空    1.0E-1Pa    供電電源    AC:220V 50/60Hz    抽氣接口    KF16    
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          
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