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日本鏡面平板基材表面缺陷檢測(cè)技術(shù)介紹

2022-6-16  閱讀(1083)

日本鏡面平板基材表面缺陷檢測(cè)技術(shù)介紹

 

表面缺陷檢測(cè)設(shè)備(一般)

表面欠陥検査裝置(通常タイプ)

應(yīng)用流傳已久的魔鏡(透光鏡)原理,達(dá)成實(shí)時(shí)檢測(cè)鏡面平板基材表面狀態(tài)的裝置。受各地的矽晶圓廠所用。
非接觸、非破壞性的檢查,以及免維護(hù)的光學(xué)系統(tǒng)根據(jù)選配,可追加表面缺陷自動(dòng)判定影像處理軟體、自動(dòng)化搬運(yùn)裝置、影像儲(chǔ)存、影像列印等功能。

 

製品の特長(zhǎng)

  • 1即時(shí)顯示所有表面狀態(tài)。

  • 2光學(xué)系統(tǒng)對(duì)應(yīng)等級(jí)1

  • 3光學(xué)系統(tǒng)無須維護(hù)。

  • 4根據(jù)檢測(cè)內(nèi)容,可修正檢測(cè)靈敏度。

檢測(cè)尺寸 從φ100mm至φ300mm
檢測(cè)內(nèi)容 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等
檢測(cè)倍率 1x / 3x 模式可切換(標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備)
檢測(cè)靈敏度 檢測(cè)靈敏度可連續(xù)調(diào)整
使用光源 550nm?。ü潭ㄕ斩戎€(wěn)定光源)
鏡頭 高解析度CCD鏡頭
平臺(tái) 手動(dòng)平臺(tái)(標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備)
用途
鏡面晶圓的表面檢測(cè)
滑線檢測(cè)
玻璃基板檢測(cè)
其他鏡面基板檢測(cè)
選配
電動(dòng)馬達(dá)檢測(cè)平移臺(tái)
自動(dòng)判定缺陷影像處理裝置
影像列印機(jī)
搬運(yùn)裝置
  • ※ 可以隨時(shí)在敝公司內(nèi)展示。

  • ※ 可將樣品寄送過來,之后我們?cè)賹⒂跋窠Y(jié)果回寄。

 




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