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非接觸式膜厚測(cè)量系統(tǒng)FF8的特點(diǎn)

2023-5-4　　閱讀(910)

非接觸式膜厚測(cè)量系統(tǒng)FF8的特點(diǎn)

特征

  1. 測(cè)量樣品的反射率（干涉波形），并通過FFT（快速傅里葉變換）或其他方法分析薄膜厚度值。

  2. 除了薄膜厚度測(cè)量外，還可以測(cè)量薄膜和玻璃厚度以及折射率。 選項(xiàng)包括多層薄膜、曲線擬合、顯微鏡、映射測(cè)量、顏色測(cè)量和組分濃度分析。

  3. 測(cè)量數(shù)據(jù)可以保存為文件，以后重新分析。

  4. 由于還可以制造連續(xù)測(cè)量功能、橫移機(jī)構(gòu)和數(shù)據(jù)通信功能，因此也可以用作在線薄膜厚度測(cè)量。

image.png

測(cè)量范圍
（分辨率）		0.01微米~50微米（0.1納米）
0.5微米~50微米（0.1納米）
1微米~200微米（0.001微米）
4微米~800微米（0.001微米）









Si02薄膜的測(cè)量示例（薄膜厚度：500nm）


乙烯基的測(cè)量示例（厚度：11μm）
氧化鋁膜的測(cè)量示例（膜厚：10μm）
印刷電路板抗蝕膜的測(cè)量示例





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