高精度混氣系統(tǒng)3.0

高精度混氣系統(tǒng)3.0

混氣系統(tǒng)是透射電鏡氣體原位系統(tǒng)的重要配套設(shè)備，也是氣體原位實(shí)驗(yàn)成功與否的重要因素。原位實(shí)驗(yàn)的氣體必須具備如下要素：

1、氣體的純凈；

2、混氣配比的精確性；

3、安全性。

高精度混氣系統(tǒng)3.0特點(diǎn)：

1、氣體的純凈：超新芯混氣系統(tǒng)從設(shè)計(jì)之初就非常重視氣體的純凈。對(duì)此，我們?nèi)诤狭藘煞N除雜模塊。

①加熱模塊：加速氣路管壁痕量雜質(zhì)的揮發(fā)，然后通過(guò)氣體吹掃帶走雜質(zhì)；

②冷凍模塊：通過(guò)-170℃以下的極低溫去除氣體中的痕量有機(jī)碳等雜質(zhì)。

通過(guò)一冷一熱的緊密配合，確保氣體的高純。同時(shí)我們對(duì)氣體吹掃效率做了設(shè)計(jì)優(yōu)化，在確保氣體純凈的前提下，大幅降低氣體吹掃的時(shí)間，提升效率。

2、混氣配比的精確性：超新芯為混氣系統(tǒng)配備的高精度的氣體流量計(jì)，客戶只需要設(shè)定比例后，系統(tǒng)自動(dòng)進(jìn)氣混氣。經(jīng)過(guò)連續(xù)24h的信賴性測(cè)試，混氣配比不產(chǎn)生波動(dòng)。

3、安全性：氣體原位實(shí)驗(yàn)如果發(fā)生泄露，會(huì)導(dǎo)致氣體進(jìn)入電鏡腔室損壞電鏡。超新芯混氣系統(tǒng)不僅配備了超高精度的氣體流量計(jì)精確控制氣體流速，同時(shí)集成高靈敏度的氣體壓力傳感器監(jiān)控氣體壓力，在發(fā)生氣體泄露的瞬間切斷氣體供應(yīng)并阻止外界空氣倒吸，以上各方面都為氣體原位試驗(yàn)提供了冗余的安全設(shè)計(jì)。

優(yōu)化升級(jí)：

盡管做到以上三點(diǎn)對(duì)于高精度混氣系統(tǒng)來(lái)說(shuō)已屬不易，但對(duì)我們來(lái)說(shuō)，這遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠酷。為此我們對(duì)高精度混氣系統(tǒng)又做了如下優(yōu)化升級(jí)：

1、優(yōu)化加濕功能：對(duì)于特定的原位氣體實(shí)驗(yàn)，往往需要對(duì)氣體進(jìn)行加濕處理，因此我們優(yōu)化了加濕模塊，并且做到靈活可控，客戶可以自主配置。

2、新增氣壓調(diào)控功能：對(duì)于特定的原位氣體實(shí)驗(yàn)，往往需要調(diào)控反應(yīng)池的氣體壓力，超新芯為此設(shè)計(jì)了反應(yīng)池氣體壓力調(diào)控模塊，可調(diào)節(jié)反應(yīng)池氣體壓力（<1atm），以滿足客戶的不同實(shí)驗(yàn)需求。

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