Sensofar共聚焦顯微鏡

　　Sensofar共聚焦顯微鏡的核心定位是非接觸式3D光學表面輪廓儀。它不僅僅是一臺顯微鏡，更是一臺高精度的計量儀器。其顯著的特點是將多種光學測量技術(shù)集成于一體，用戶可以根據(jù)樣品特性在同一臺設(shè)備上無縫切換最合適的測量模式，以獲得精確的數(shù)據(jù)。新型Sensofar共聚焦顯微鏡S neox在性能、功能、效率和設(shè)計方面優(yōu)于現(xiàn)有的3D光學輪廓儀，是新一代共聚焦顯微鏡測量系統(tǒng)。
 

       驚人的測量速度

 

　　通過采用新的智能和自有的算法以及新型相機，達到驚人的測量速度。數(shù)據(jù)采集速度達 180 fps。標準測量采集速度比以前快 5 倍。新型Sensofar共聚焦顯微鏡 S neox  成為市場上速度極快的表面測量系統(tǒng)。
 

　　易于使用
 

　　Sensofar致力于為客戶提供最令人難以置信的體驗。隨著第五代 S neox 共聚焦顯微鏡系統(tǒng)的誕生，我們的目標是使其易于使用、直觀且更快速。即使是初學者，只需點擊一下，即可操作測量。模塊化設(shè)計的軟件，使系統(tǒng)適應用戶多樣的需求。
 

 

 

　　質(zhì)量管理
 

　　豐富的自動化模塊，方便進行質(zhì)
 

　　量管控。從操作員訪問權(quán)限控制、測量程序存儲、兼容性到條形碼/QR 讀取器，以及我們專有 SensoPRO 軟件中的定制插件，都可以自動生成分析報告。我們的優(yōu)化解決方案能夠在 QC 環(huán)境中工作，其具有靈活性和易于使用的界面，可編程并24小時工作。

 

　　研發(fā)
 

　　Sensofar的三合一方法—只需點擊一次，系統(tǒng)即可切換到適合當前測量任務的掃描模式。在 S neox 傳感器頭中配置三種測量技術(shù)—共聚焦、干涉、Ai 多焦面疊加—這些都為系統(tǒng)的多功能性做出了重要貢獻，并有助于非常有效地減少數(shù)據(jù)采集中的噪點。S neox 是所有實驗室環(huán)境的理想之選,適用范圍廣泛。

 

       Ai 多焦面疊加NEW!

 

　　主動照明多焦面疊加是一種為了測量大粗糙表面形狀而開發(fā)的光學技術(shù)。這項技術(shù)基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 測量領(lǐng)域的廣泛專業(yè)知識，專門設(shè)計用于補充低放大率下的測量。通過使用主動照明，即使在光學平滑的表面上也能獲得更可靠的測量數(shù)據(jù)，這一點已經(jīng)得到了改進。該技術(shù)的亮點包括高斜率表面(高達 86º),更快的速度(mm/s)和較大的垂直范圍測量。
 

       共聚焦

 

　　共聚焦輪廓儀的開發(fā)目的是，測量從光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦輪廓提供更佳的橫向分辨率，可達 0.14μm 水平分辨率，空間采樣可減少到 0.01μm，這是關(guān)鍵尺寸測量的理想選擇。高達NA (0.95) 和放大倍率(150X) 的物鏡可用于測量局部斜率超過 70°的光滑表面。對于粗糙表面，可允許 86°。自有的共聚焦算法提供了納米尺度上的垂直重復性。
 

       干涉

 

　　光學干涉是利用參考鏡和樣本上產(chǎn)生的兩束反射光在零光程差時產(chǎn)生干涉的現(xiàn)象來生成三維干涉圖樣(干涉圖)，包含樣本表面形貌上的信息。該方式的各種變化可用于具體不同的應用。
 

       薄膜

 

　　薄膜測量技術(shù)快速、準確、無損地測量光學透明層的厚度，且不需要樣品制備。該系統(tǒng)獲取可見光范圍內(nèi)樣品的反射光譜，并與軟件計算的模擬光譜進行比較，準確地找到匹配的厚度?？梢栽诓坏揭幻腌姷臅r間內(nèi)測量出 50nm 到 1.5μm 的透明膜。測量光斑取決于物鏡放大率，范圍從0.5μm到40μm。
 

       LED光源的優(yōu)勢

 

　　用LED做照明光源要比用激光更有優(yōu)勢。首先LED光源可以避免發(fā)生激光光源的散斑現(xiàn)象。其次LED光源的使用壽命約50000小時(約25倍于激光)。最重要的是多個LED就意味著可以根據(jù)樣品的需求選擇適合的波長來測量。
 

 

　　每一臺SNEOX都是為了實現(xiàn)精確且可追溯地測量。我們的設(shè)備使用符合ISO25178中的Part 700和Part 600標準的可追溯標準塊進行校正。所有的指標，包括高度及水平精度、平面度偏差、系統(tǒng)分辨率等都以測量此類標準塊而得到。我們堅持所有的測量設(shè)備按照此標準執(zhí)行。
 

　　SNEOX出廠前都采用已計量、可追溯的標準塊做校正，并且確認符合標準才會出廠。同時SENSOFAR會隨設(shè)備附上測量精度和重復性的檢測報告
 

　　ISO 標準
 

　　高分辨率
 

　　垂直分辨率受到儀器噪聲的限制，儀器噪聲對于干涉測量是固定的，但共聚焦測量依賴的數(shù)值孔徑。Sensofar 專有算法以光學儀器更佳的橫向分辨率為測量技術(shù)提供納米級系統(tǒng)噪聲。所示的形貌是亞納米 (0.3 nm) 原子層。由 PTB 提供。
 

       DIC 觀察

 

　　微分干涉 (DIC) 用于強調(diào)在正常觀察中沒有對比度的非常小的高度特征。通過使用 Nomarski 棱鏡，產(chǎn)生了干涉圖像，解決了在明視場或共聚焦圖像中不可見的亞納米級結(jié)構(gòu)。
 

　　Sensoafar共聚焦顯微鏡 S neox  軟件系統(tǒng)SENSOSCAN
 

　　引導式系統(tǒng)
 

　　SensoSCAN
 

　　軟件通過清晰、直觀且用戶友好的界面驅(qū)動系統(tǒng)。
 

　　用戶將被引導瀏覽 3D 環(huán)境，獲得很好的用戶體驗。
 

       樣本導航

 

　　概覽工具，可幫助用戶在測量準備過程中檢查樣品、在采集之前檢查測量位置以及協(xié)助實現(xiàn)自動化程序。讓您時刻掌握測試進度，讓高倍率測量變得更加簡單。
 

       自動 3D 功能

 

　　選擇 3D 自動功能，SensoSCAN 軟件
 

　　將自動確定正確的照明和合適的測量范圍，
 

　　然后執(zhí)行所選的測量類型。因此，您可以在幾秒鐘內(nèi)獲得高質(zhì)量的結(jié)果。
 

       分析與報告

 

　　還可以創(chuàng)建分析模板，將預定的過濾器和操作員配置應用于重復的測量。
 

　　最后，為每次測量產(chǎn)生清晰且結(jié)構(gòu)良好的報告，包括 3D 數(shù)據(jù)、2D 輪廓和所有 ISO 參數(shù)。
 

　　自動化程序模塊
 

　　自動測量模塊讓客戶更容易地實現(xiàn)自定義編程，完成質(zhì)量管理和檢測的目標。手動設(shè)定測量點坐標或?qū)胱鴺宋募?，為每個坐標或批量設(shè)定量測程序，再設(shè)定自動影像識別對位點，最后定義公差范圍及報告輸出格式就完成了所有的編程工作。
 

       多點編程測量

 

　　SNEOX設(shè)計了一個全新的編程方式。即通過自動識別相同的結(jié)構(gòu)或產(chǎn)品類型，程序會在相同的位置復制測量點位和程序。這將極大地提高編程的效率，節(jié)省了人員編程的時間。
 

　　自動識別對位點
 

　　通過影像自動識別對位點并自動進行位置補正，從而實現(xiàn)了無人干預的全自動化測量。使原來手動抽檢的臺式機變身為只要手動放完片就可以自動測量完并給出報告的半自動檢測設(shè)備。自動對位點識別的功能也是離線抽檢設(shè)備走向工業(yè)4.0必須要具備的能力。
 

       最高可達

 

　　500 Mpx
 

　　擴展測量模塊
 

　　SensoSCAN 的擴展測量模塊讓用戶可以通過概覽圖像輕松地在表面上定義測量布局。測量區(qū)域可被自動裁剪為需要的矩形、圓形或環(huán)形區(qū)域。適用于高達 5 億像素的大面積測量。提供多種掃描策略，例如對每個視場進行自動聚焦，或聚焦跟蹤，以便最小化垂直掃描范圍。
 

 

 

　　強大的分析軟件
 

　　3D 和 2D 交互式視圖提供多種比例、顯示和渲染選項。提供全套工具套裝，適用于對 3D 或 2D 測量進行初步檢查和分析。測量臨界尺寸、角度、距離、直徑，以及使用新的注釋工具突出顯示特點。

 

　　快速質(zhì)量控制
 

　　在生產(chǎn)線上執(zhí)行快速質(zhì)量控制從未顯得如此簡單。得益于 SensoPRO，生產(chǎn)線操作員只需要加載樣品并按照引導式說明操作即可?；诓寮臄?shù)據(jù)分析算法提供了高度的靈活性。全新模塊可供輕松定制，以適應其他行業(yè)的需求。

 

 

 

　　高級分析軟件
 

　　SensoMAP 是一款功能強大的分析和報告工具，它是基于 Digital Surf 的 Mountains 技術(shù)而開發(fā)。SensoMAP 軟件已經(jīng)模塊化，以適應客戶需求。SensoMAP 提供兩個級別(標準和進階)和多個模塊(2D、3D 或 4D 模塊、進階輪廓、顆粒和粒子、統(tǒng)計和拼接)。