布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀工作原理簡述

白光干涉光學(xué)輪廓儀是一種非接觸式的表面三維形貌測量工具。布魯克公司的該系列產(chǎn)品，通過捕捉由參考鏡和樣品表面反射的光線所產(chǎn)生的干涉現(xiàn)象，來解析樣品的微觀高度信息。布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀工作原理簡述

其核心光學(xué)系統(tǒng)采用LED白光光源，發(fā)光穩(wěn)定且壽命較長。精密的分光鏡組與高性能物鏡協(xié)同工作，確保了清晰的干涉條紋。儀器主體框架常使用金屬材料，并集成主動隔震設(shè)計(jì)，有助于減弱環(huán)境振動對測量的干擾，保障了設(shè)備在多種條件下的穩(wěn)定表現(xiàn)。

這類儀器能適應(yīng)從光滑到粗糙的不同表面。其垂直方向的測量能力可以達(dá)到納米尺度，用于分辨微小的表面起伏。橫向分辨能力則與所選物鏡的放大倍數(shù)相關(guān)聯(lián)。憑借優(yōu)化的硬件與算法，單次三維測量可以在較短時(shí)間內(nèi)完成，方便進(jìn)行重復(fù)性統(tǒng)計(jì)測量。

典型型號: ContourX-500

• 主要用途: 應(yīng)用于半導(dǎo)體、材料科學(xué)、精密光學(xué)及微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）等領(lǐng)域，進(jìn)行表面粗糙度、臺階高度、幾何輪廓等參數(shù)的測量與分析。

• 使用簡介: 通過計(jì)算機(jī)軟件進(jìn)行操作。放置樣品后，選取合適的物鏡，在軟件界面中調(diào)整光路和掃描參數(shù)，即可啟動自動測量并生成三維數(shù)據(jù)。

基礎(chǔ)參數(shù)示例:

• 垂直分辨率: 優(yōu)于0.1 nm

• 最大垂直量程: 5 mm

• 標(biāo)配物鏡: 5X, 10X, 20X, 50X

• 樣品臺行程: 100 x 100 mm

軟件是其價(jià)值的核心體現(xiàn)。測量完成后，軟件提供豐富的分析工具：

1. 三維形貌視圖: 以直觀的三維圖像展示表面起伏。

2. 二維輪廓提取: 可在任意位置截取截面線，進(jìn)行臺階高度、角度等尺寸量測。

3. 粗糙度分析: 依據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)（如ISO 25178），計(jì)算Sa, Sq, Sz等一系列粗糙度參數(shù)。

4. 體積分析: 用于分析磨損、腐蝕或材料的體積損失。

5. 統(tǒng)計(jì)與報(bào)表生成: 可對多次測量結(jié)果進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，并一鍵生成定制化的檢測報(bào)告。

這些功能將原始的干涉數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為有價(jià)值的量化信息，為工藝改進(jìn)和質(zhì)量控制提供直接依據(jù)。布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀工作原理簡述