布魯克白光干涉光學輪廓儀應對材料表面測量

許多工業(yè)及科研樣品表面復雜，可能存在高陡坡、多層薄膜或反射率差異大的區(qū)域。布魯克白光干涉儀通過特定的技術設計來處理這些情況。布魯克白光干涉光學輪廓儀應對材料表面測量

對于具有高深寬比或陡峭側壁的結構，儀器配備的長工作距離物鏡和光路設計，有助于光線抵達特征底部并返回，從而改善了對復雜形貌的還原度。其增強的算法對斜率較大的區(qū)域也能進行有效的分析。

在測量晶圓上的透明薄膜或涂層時，可能會遇到多層干涉信號的干擾。設備提供的選配分析模塊，能夠辨識并區(qū)分這些信號，從而評估薄膜厚度或下層界面的形貌。

面對反射率過高或過低的樣品，用戶可調節(jié)光源強度，并可選擇安裝偏振附件來優(yōu)化干涉效果，避免信號失真，使得在不同材質上都能獲得較清晰的測量數(shù)據(jù)，擴展了其應用范圍。

典型型號: ContourX-500

• 主要用途: 應用于半導體、材料科學、精密光學及微機電系統(tǒng)（MEMS）等領域，進行表面粗糙度、臺階高度、幾何輪廓等參數(shù)的測量與分析。

• 使用簡介: 通過計算機軟件進行操作。放置樣品后，選取合適的物鏡，在軟件界面中調整光路和掃描參數(shù)，即可啟動自動測量并生成三維數(shù)據(jù)。

基礎參數(shù)示例:

• 垂直分辨率: 優(yōu)于0.1 nm

• 最大垂直量程: 5 mm

• 標配物鏡: 5X, 10X, 20X, 50X

• 樣品臺行程: 100 x 100 mm

軟件是其價值的核心體現(xiàn)。測量完成后，軟件提供豐富的分析工具：

1. 三維形貌視圖: 以直觀的三維圖像展示表面起伏。

2. 二維輪廓提取: 可在任意位置截取截面線，進行臺階高度、角度等尺寸量測。

3. 粗糙度分析: 依據(jù)國際標準（如ISO 25178），計算Sa, Sq, Sz等一系列粗糙度參數(shù)。

4. 體積分析: 用于分析磨損、腐蝕或材料的體積損失。

5. 統(tǒng)計與報表生成: 可對多次測量結果進行統(tǒng)計分析，并一鍵生成定制化的檢測報告。

這些功能將原始的干涉數(shù)據(jù)轉化為有價值的量化信息，為工藝改進和質量控制提供直接依據(jù)。布魯克白光干涉光學輪廓儀應對材料表面測量