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SE-Mapping光譜橢偏儀03090805

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更新時(shí)間:2024-03-07 21:01:53瀏覽次數(shù):613

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介:SE-Mapping光譜橢偏儀是一款可定制化Mapping繪制化測量光譜橢偏儀,采用行業(yè)前沿創(chuàng)新技術(shù),配置全自動Mapping測量模塊,通過橢偏參數(shù)、透射/反射率等參數(shù)的測量,快速實(shí)現(xiàn)薄膜全基片膜厚以及光學(xué)參數(shù)自定義繪制化測量表征分析

詳細(xì)介紹

 

 

img1

 

 

 

產(chǎn)品簡介: SE-Mapping 光譜橢偏儀是一款可定制化 Mapping繪制化測量光譜橢偏儀,采用行業(yè)前沿創(chuàng)新技術(shù),配置全自動 Mapping測量模塊,通過橢偏參數(shù)、透射/反射率等參數(shù)的測量,快速實(shí)現(xiàn)薄膜全基片膜厚以及光學(xué)參數(shù)自定義繪制化測量表征分析。SE-Mapping譜橢偏儀廣泛應(yīng)用OLED,LED,光伏,集成電路等工業(yè)應(yīng)用中,實(shí)現(xiàn)大尺寸全基片膜厚、光學(xué)常數(shù)以及膜厚分布快速測量與表征。

 

 

 

產(chǎn)品型號

SE-Mapping 光譜橢偏儀

主要特點(diǎn)

1、全基片橢偏繪制化測量解決方案

 

2、支持產(chǎn)品設(shè)計(jì)以及功能模塊定制化,一鍵繪制測量

 

3、配置 Mapping 模塊,全基片自定義多點(diǎn)定位測量能力

 

4、豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫,保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力

 

5、采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍

(193-2500nm)

 

6、高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、 PCRSA 配置, 實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采

7、具備全基片自定義多點(diǎn)自動定位測量能力,提供全面膜厚檢測分析報(bào)告

 
1、自動化程度:固定角+img5mapping

2、應(yīng)用定位:檢測型

 

3、基本功能: Psi/Delta、N/C/S、R 等光譜

 

4、分析光譜: 380-1000nm(可擴(kuò)至 193-2500nm)

 

5、單次測量時(shí)間: 0.5-5s

 

6、重復(fù)性測量精度: 0.01nm

 

7、光斑大?。?/span> 大光斑 2-3mm,微光斑200um

 

8、入射角調(diào)節(jié)方式:固定角

 

9、入射角范圍: 65°

 

10、找焦方式:手動找焦

 

11、Mapping1 程: 300x300mm

 

12、支持樣件尺寸:  300mm

可選配件

3

真空泵

4

透射吸附組件

 

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