PCE-6V小型等離子清洗機2

產(chǎn)品型號

PCE-6V 小型等離子清洗機

主要特點

 1、采用氣體作為清洗介質(zhì)，避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。

   2 、可短時間內(nèi)清洗掉有機污染物。

   3  、清洗程度可達到分子級。

   4 、可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。

   5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性，并可消 毒和殺菌。

   6 、樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現(xiàn)離子蝕刻。

   7、廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、 微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)

1 、電壓： AC220V    10A

 2、消耗功率： <500W  （包括真空泵）

 3 、RF 電源： 輸出功率 100W ，輸出頻率 13.56MHz

   4、腔體： Ø190mm×98mm

   5、石英管： Ø180mm×55mm ，壁厚 7mm

   6、內(nèi)腔： Ø165mm×55mm

   7、清洗電極： Ø120mm

   8、樣品臺： Ø150mm ，有效尺寸 Ø140mm

   9、樣品臺與電極間距： 15mm-50mm 可調(diào)

   10、抽氣管： Ø12mm

   11、極限真空度： 0.1Pa

   12、工作真空度： 60Pa-500Pa

   13、氣路數(shù)量： 2 路（選裝）

   14、流量控制器數(shù)量： 1 、2

   15、流量顯示儀： 2 通道

   16、氣路接口： Ø6mm

   17、加熱樣品臺： Ø140mm ，加熱樣品溫度 RT-600℃±1℃（選裝）

   18、冷卻水壓力： 0.2KPa-0.4KPa

    19、工作環(huán)境： 溫度 5℃-35℃，濕度<80%  （相對濕度）不結(jié)露， 海拔高度 0-2000m