技術(shù)參數(shù)
| 參數(shù)類別 | 參數(shù)詳情 |
|---|
| 最小可測(cè)量粒徑 | 10μm |
| 粒度分級(jí) | 10μm、30μm、50μm、100μm，可在11～99μm范圍內(nèi)任意設(shè)定值 |
| 兼容晶圓尺寸 | 4英寸 |
| 最大測(cè)量面積 | φ80mm |
| 修剪功能 | 有 |
| 顯示切換 | 有（可單獨(dú)顯示） |
功能特點(diǎn)
粗顆粒測(cè)量
DTSP10-03 是一種特殊的測(cè)量裝置，可以測(cè)量落塵而不是浮塵，對(duì)10μm以上的粗顆粒進(jìn)行分類和計(jì)數(shù)。這與傳統(tǒng)的顆粒計(jì)數(shù)器不同，后者主要用于測(cè)量空氣中漂浮的微小顆粒，而無(wú)法有效測(cè)量導(dǎo)致附著異物的較大粗顆粒。
高效采樣與分析
該設(shè)備利用樣品收集板（4英寸硅片），利用粗顆粒的沉降特性，對(duì)下落的10μm以上的粗顆粒進(jìn)行分級(jí)計(jì)數(shù)。這種測(cè)量方式可以在任何可以放置硅晶圓的地方進(jìn)行評(píng)估，提高了測(cè)量的靈活性和適用性。
數(shù)據(jù)管理
測(cè)量結(jié)果可以在PC上顯示和保存，便于進(jìn)一步分析和記錄。這使得用戶能夠更好地管理和分析落塵數(shù)據(jù)，從而采取有效的對(duì)策減少產(chǎn)品上附著的異物量。
應(yīng)用場(chǎng)景
無(wú)塵室管理
即使在無(wú)塵室中工作，異物的量也可能不會(huì)減少。DTSP10-03 可以幫助識(shí)別和管理這些異物，確保無(wú)塵室的清潔度。通過(guò)測(cè)量落塵而不是漂浮的灰塵，可以更有效地管理附著的異物。
產(chǎn)品質(zhì)量控制
在電子、半導(dǎo)體等對(duì)清潔度有要求的行業(yè)中，DTSP10-03 可用于檢測(cè)產(chǎn)品表面或生產(chǎn)環(huán)境中的落塵，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性。
環(huán)境監(jiān)測(cè)
該設(shè)備還可以用于監(jiān)測(cè)高溫爐內(nèi)、運(yùn)行中的傳送帶等難以接近的區(qū)域的灰塵附著情況。這有助于及時(shí)發(fā)現(xiàn)和解決潛在的污染問(wèn)題，保護(hù)設(shè)備和人員的安全。
日本 NCC 落塵計(jì)數(shù)器 DTSP10-03 憑借其對(duì)10μm以上粗顆粒的精準(zhǔn)測(cè)量能力、高效的采樣與分析功能以及廣泛的應(yīng)用場(chǎng)景，在無(wú)塵室管理、產(chǎn)品質(zhì)量控制和環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域表現(xiàn)出色，是現(xiàn)代工業(yè)和科研中的測(cè)量工具。
