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北崎供應ULVAC愛發(fā)科HR300 多級羅茨干式真空泵
參考價: ￥ 12304
訂貨量: 1臺
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 北崎供應 產(chǎn)品型號
  • ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 北京市 所在地

訪問次數(shù)：25更新時間：2025-06-07 14:37:55

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個性化：
www.vbys.com
網(wǎng)址：
www.bjkitazaki.com/

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產(chǎn)品簡介
應用領域 石油,能源,電子/電池,電氣,綜合
ULVAC愛發(fā)科HR300 多級羅茨干式真空泵
通過在高溫范圍內(nèi)均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以
氣態(tài)排出。
產(chǎn)品介紹

ULVAC愛發(fā)科HR300 多級羅茨干式真空泵 

ULVAC愛發(fā)科HR300 多級羅茨干式真空泵 


可以在氣態(tài)下排放高溫區(qū)域熱均衡

CVD 和蝕刻產(chǎn)生的升華廢氣排放物。

“Model：UR" 甚至可以高于 “Model：HR"。

由于安裝了密封

性密封電機，因此非常安全。

瞬時停止：在 1000 毫秒內(nèi)實施瞬時停止

措施。

優(yōu)異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊

表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能：

可以讀取泵運行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄數(shù)據(jù)。 通過使用專用軟件和計算機通信，可以進行集中監(jiān)控。

用

CVD 設備

蝕刻設備

灰化裝置

ALD、ALH 等

型HR60HR90HR300型HR600 型HR1200 型
使用的泵DRPHR60HR90HR60HR90HR90
MPB--PRC-003A 系列PRC-006A 系列PRC-012A 系列
最大
抽速		50 赫茲m3/h
（升/分鐘）		62(1030)112(1860)359(5,980)653(10,900)1,012(16,900)
60 赫茲m3/h
（升/分鐘）		80(1333)126(2100)365(6,080)701(11,700)1,051(17,500)
極限壓力帕50.67　　　　　
最大入口壓力
（入口壓力）
大氣壓力 *1
最大排氣口壓力
（排氣壓力）		帕1~大氣壓
進氣口 （CE 規(guī)格）VG50（KF50） 系列VG80型 （KF50）VG80（KF80） 系列VG100型 （KF100）
排氣口肯氟烴40
質(zhì)量公斤180245275370420
電力三個階段交流電（Hz）200(50/60), 220(60)
當前值穩(wěn)態(tài)一個7.1
（200V 時）		11.2
（200V 時）		7.8
（200V 時）		12.9
（200V 時）		15.4
（200V 時）
最大值一個7.3
（200V 時）		11.8
（200V 時）		8.1
（200V 時）		13.8
（200V 時）		18.9
（200V 時）
冷卻水臨時壓力兆帕0.1~0.3
冷卻水入口/出口壓差兆帕>0.1
冷卻水流量升/分鐘>5.0
吹掃氣體一次壓力兆帕0.1~0.5
二次壓力兆帕0.05~0.1
N2 吹掃軸SLM 系列5
加斯伯勒SLM 系列0~45






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