聯(lián)系電話
參考價: | ¥ 12430 |
訂貨量: | 1臺 |
- 進口 產(chǎn)品型號
- ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質
- 北京市 所在地
訪問次數(shù):47更新時間:2025-06-07 15:23:34
- 聯(lián)系人:
- 黃思宇
- 電話:
- 86-010-67868591
- 手機:
- 13693291657
- 售后:
- 13693291657
- 傳真:
- 86-010-67868591
- 地址:
- 北京市朝陽區(qū)住邦2000商務樓A座1號樓406B
- 個性化:
- www.vbys.com
- 網(wǎng)址:
- www.bjkitazaki.com/
掃一掃訪問手機商鋪
應用領域 | 化工,能源,電氣,綜合 |
---|
通過在低溫范圍內平衡泵體的熱量,它是 PVD 工藝抽真空的理想泵,尤其是在制備和取出室中,縮短泵送時間以提高吞吐量非常重要。
ULVAC愛發(fā)科 羅茨干式真空泵 LR600
ULVAC愛發(fā)科 羅茨干式真空泵 LR600
除了低溫整平(型號:LR)
PVD 工藝外,它還特別適用于制備室和取出室的排氣,在這些地方,縮短抽氣時間對于提高產(chǎn)量很重要。
由于其密封結構,由于其密封
結構,它非常安全。
瞬時停止:在 1000 毫秒內實施瞬時停止
措施。
優(yōu)異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊
表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時泵內部的腐蝕。
通信功能:
可以讀取泵運行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄數(shù)據(jù)。 通過使用專用軟件和計算機通信,可以進行集中監(jiān)控。
用
成膜設備(濺射設備、氣相沉積設備等)
減少準備室和取出室的排氣時間
作為輔助排氣泵(渦輪分子泵的輔助排氣、機械增壓泵)
型 | LR300 系列 | LR600 系列 | LR1200型 | LR1800型 | LR3601 系列 | LR3601-T(TT) 銅皮 | LR3601-R | LR3601-TR(TTR) 銅 | ||
使用的泵 | DRP | LR60 系列 | LR90 系列 | LR90 系列 | LR180型 | LR421 系列 | LR421-T | LR421 系列 | LR421-T | |
MPB | PRC-003A 系列 | PRC-006A 系列 | PRC-012A 系列 | PRC-018A 系列 | PRC-036C 系列 | PRC-036C(-T) 系列 | PRC-036D 系列 | PRC-036D(D-T) 系列 | ||
最大抽速 | 50 赫茲 | m3/h (升/分鐘) | 359 (5,980) | 653 (10,900) | 1,012 (16,900) | 1,701 (28,350) | 3,200 (53,333) | |||
60 赫茲 | m3/h (升/分鐘) | 365 (6,080) | 701 (11,700) | 1,051 米 (17,500) | 1,784 (29,700) | 3,200 (53,333) | ||||
極限壓力 | 0.67 帕 | |||||||||
最大入口壓力(入口壓力) | 氣壓 | |||||||||
最大排氣口壓力(排氣壓力) | 1Pa ~ 大氣壓 | |||||||||
進氣口 (CE 規(guī)格) | VG80 (KF80) | VG100 型 (KF100) | VG150 型 (KF100) | VG150型 | ||||||
排氣口 | 肯氟烴40 | KF50 系列 | ||||||||
MBP 表面處理 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | × | T:× TT:× | × | TR:× TTR:〇 | ||
質量 | 公斤 | 275 | 370 | 420 | 545 | 660 | 720 | 660 | 720 | |
電力 *3 | 三個階段 | VAC (赫茲) | 200 (50/60), 220 (60) | 180~240 / 380~440 (50/60) | ||||||
當前值 | 穩(wěn)態(tài) | 一個 | 7.0 (200V 時) | 12.3 (200V 時) | 13.7 (200V 時) | 21.4 (200V 時) | 31.0 (200V 時) 400V 時 20.5 | 35.4 (200V 時) 400V 時 20.5 | ||
最大值 | 一個 | 9.6 (200V 時) | 19.0 (200V 時) | 24.2 (200V 時) | 39.8 (200V 時) | 200V 時為 58.4,400V 時為 40.5 | 82.0 (200V 時)400V 時 40.5 | |||
冷卻水臨時壓力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | |||||||
冷卻水入口/出口壓差 | 兆帕 | >0.1 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||||
冷卻水流量 | 升/分鐘 | >5.0 | >4.0 | |||||||
吹掃氣體 | 一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | |||||||
二次壓力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | ||||||||
N2 吹掃 | 軸 | SLM 系列 | 5 | |||||||
加斯伯勒 | SLM 系列 | 0~45 | 無 *4 | 0~45 | 無 *4 | 0~45 |