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進口ULVAC愛發(fā)科 羅茨干式真空泵 LR600
參考價: 12430
訂貨量: 1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 進口 產(chǎn)品型號
  • ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質
  • 北京市 所在地

訪問次數(shù):47更新時間:2025-06-07 15:23:34

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www.vbys.com
網(wǎng)址:
www.bjkitazaki.com/

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產(chǎn)品簡介
應用領域 化工,能源,電氣,綜合
ULVAC愛發(fā)科 羅茨干式真空泵 LR600
通過在低溫范圍內平衡泵體的熱量,它是 PVD 工藝抽真空的理想泵,尤其是在制備和取出室中,縮短泵送時間以提高吞吐量非常重要。
產(chǎn)品介紹

ULVAC愛發(fā)科 羅茨干式真空泵 LR600 

ULVAC愛發(fā)科 羅茨干式真空泵 LR600 


除了低溫整平(型號:LR)

PVD 工藝外,它還特別適用于制備室和取出室的排氣,在這些地方,縮短抽氣時間對于提高產(chǎn)量很重要。

由于其密封結構,由于其密封

結構,它非常安全。

瞬時停止:在 1000 毫秒內實施瞬時停止

措施。

優(yōu)異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊

表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時泵內部的腐蝕。

通信功能:

可以讀取泵運行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄數(shù)據(jù)。 通過使用專用軟件和計算機通信,可以進行集中監(jiān)控。

成膜設備(濺射設備、氣相沉積設備等)

減少準備室和取出室的排氣時間

作為輔助排氣泵(渦輪分子泵的輔助排氣、機械增壓泵)


LR300 系列LR600 系列LR1200型LR1800型LR3601 系列LR3601-T(TT) 銅皮LR3601-RLR3601-TR(TTR) 銅
使用的泵DRPLR60 系列LR90 系列LR90 系列LR180型LR421 系列LR421-TLR421 系列LR421-T
MPBPRC-003A 系列PRC-006A 系列PRC-012A 系列PRC-018A 系列PRC-036C 系列PRC-036C(-T) 系列PRC-036D 系列PRC-036D(D-T) 系列
最大抽速50 赫茲m3/h
(升/分鐘)
359
(5,980)
653
(10,900)
1,012
(16,900)
1,701
(28,350)
3,200 (53,333)
60 赫茲m3/h
(升/分鐘)
365
(6,080)
701
(11,700)
1,051 米
(17,500)
1,784
(29,700)
3,200 (53,333)
極限壓力0.67 帕
最大入口壓力(入口壓力)氣壓
最大排氣口壓力(排氣壓力)1Pa ~ 大氣壓
進氣口 (CE 規(guī)格)VG80 (KF80)VG100
型 (KF100)
VG150
型 (KF100)
VG150型
排氣口肯氟烴40KF50 系列
MBP 表面處理〇 *2〇 *2〇 *2〇 *2×T:×
TT:×
×TR:×
TTR:〇
質量公斤275370420545660720660720
電力 *3三個階段VAC (赫茲)200 (50/60), 220 (60)180~240 / 380~440 (50/60)
當前值穩(wěn)態(tài)一個7.0
(200V 時)
12.3
(200V 時)
13.7
(200V 時)
21.4
(200V 時)
31.0 (200V 時) 400V
時 20.5
35.4 (200V 時) 400V
時 20.5
最大值一個9.6
(200V 時)
19.0
(200V 時)
24.2
(200V 時)
39.8
(200V 時)
200V 時為 58.4,400V
時為 40.5
82.0 (200V 時)400V
時 40.5
冷卻水臨時壓力兆帕0.1~0.30.2~0.5
冷卻水入口/出口壓差兆帕>0.10.1~0.30.2~0.5
冷卻水流量升/分鐘>5.0>4.0
吹掃氣體一次壓力兆帕0.1~0.5
二次壓力兆帕0.05~0.1
N2 吹掃SLM 系列5
加斯伯勒SLM 系列0~45無 *40~45無 *40~45




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