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參考價: | ¥ 12630 |
訂貨量: | 1臺 |
- 北崎供應 產(chǎn)品型號
- ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質
- 北京市 所在地
訪問次數(shù):32更新時間:2025-06-07 14:54:18
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應用領域 | 石油,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
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通過在高溫范圍內(nèi)均衡泵體的熱量,可以將 CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質以
氣態(tài)排出。
ULVAC愛發(fā)科UR3601-TT多級羅茨干式真空泵
ULVAC愛發(fā)科UR3601-TT多級羅茨干式真空泵
可以在氣態(tài)下排放高溫區(qū)域熱均衡
CVD 和蝕刻產(chǎn)生的升華廢氣排放物。
“Model:UR" 甚至可以高于 “Model:HR"。
由于安裝了密封
性密封電機,因此非常安全。
瞬時停止:在 1000 毫秒內(nèi)實施瞬時停止
措施。
優(yōu)異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊
表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能:
可以讀取泵運行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄數(shù)據(jù)。 通過使用專用軟件和計算機通信,可以進行集中監(jiān)控。
用
CVD 設備
蝕刻設備
灰化裝置
ALD、ALH 等
我司代理及優(yōu)勢品牌一覽明細:
代理品牌:CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈
NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學、NIPPON GEAR日本齒輪
NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗
優(yōu)勢品牌:USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、TORAY東麗、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC
S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計器
IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光、SEM坂本電機
SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、
RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等