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參考價: | ¥ 12541 |
訂貨量: | 1臺 |
- 北崎供應 產(chǎn)品型號
- ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 北京市 所在地
訪問次數(shù):31更新時間:2025-06-07 15:01:05
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應用領(lǐng)域 | 化工,能源,電氣,綜合 |
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“Model:PRC" 是一種機械式增壓泵,主要用于需要特別清潔度的半導體和液晶制造工藝。
采用封閉電機,油不會從軸封中泄漏。 也可以選擇大氣壓驅(qū)動類型作為選項。
ULVAC愛發(fā)科PRC-003A機械增壓泵
ULVAC愛發(fā)科PRC-003A機械增壓泵
由于無
油套管腔中沒有潤滑油,因此即使對水蒸氣等蒸汽和溶劑也能獲得穩(wěn)定的性能。
屏蔽電機通過采用屏蔽電機,
我們能夠消除大氣/真空的機械密封。 無需擔心漏油,可在清潔的環(huán)境中使用。
具有優(yōu)異耐腐蝕性的
表面處理主要部件采用陽極氧化處理,表面硬度高,耐腐蝕性優(yōu)異,抑制了泵內(nèi)部的劃痕和腐蝕。 還提供可選的表面處理。
由于它可以與常壓驅(qū)動型(選項:變頻)
粗抽泵同時啟動,從而有效地縮短了抽氣時間,因此與標準型相比,可以縮短排氣時間。
除了針對特殊應用的標準可選支持
外,還提供用于特殊應用的型號。
氣相沉積、濺射、離子鍍
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
分析儀器, 泄漏測試設備
氣體置換、填充、真空絕熱
熱處理爐、熔煉爐
其他真空設備
型號 *1 | PRC-003A 系列 | PRC-006A 系列 | PRC-012A 系列 | PRC-018A 系列 | ||
最大抽速 | 50 赫茲 | 280米3/h (4670 升/分鐘) | 500 米3/h (8330 升/分鐘) | 1000 米3/h (16700 升/分鐘) | 1500米3 /h (25000 升/分鐘) | |
60 赫茲 | 330 米3/h (5500 升/分鐘) | 600米3/h (10000 升/分鐘) | 1200米3/h (20000 升/分鐘) | 1800 米3/h (30000 升/分鐘) | ||
最大吸入壓力 | 50 赫茲 | 1.2 x 103 帕 | 1.3 x 103 帕 | 1.2 x 103 帕 | ||
60 赫茲 | 約9.3 x 102 帕 | 1.1 x 103 帕 | 約9.3 x 102 帕 | |||
最大允許壓差 | 50 赫茲 | 4.0 x 103 帕 | 7.3 x 103 帕 | 4.3 x 103 帕 | ||
60 赫茲 | 3.3 x 103 帕 | 6.0 x 103 帕 | 3.2 x 103 帕 | |||
極限壓力 *2 | 4.0 x 10-1 帕 | 6.7 x 10-1 帕 | ||||
可驅(qū)動壓力 | ~1.0 x 105 PA (大氣壓力驅(qū)動) | |||||
電機 *3 | 格式 | 屏蔽式三相異步電動機 | ||||
高效級 | ー | |||||
輸出 | 0.75 kW (2 極) | 2.2 kW (2 極數(shù)) | 3.7 kW (2 極數(shù)) | 5.5 kW (2 極) | ||
電壓 (200V 級電機) | 50 赫茲 | 200 伏 | ||||
60 赫茲 | 200/220 伏 | |||||
使用油 *4 | ULVOIL R-42 | |||||
所需油量 | 0.7 升 | 1.5 升 | 1.9 升 | |||
冷卻方式 | 水冷式 | |||||
冷卻水 | 入口壓力 | 0.3 米帕 | ||||
入口壓差 | 0.01 Mpa 或更高 | |||||
冷卻水量 | 2 升/分鐘 | 3 升/分鐘 | ||||
冷卻水溫度 *5 | 5 ~ 30 °C | |||||
進氣口 JIS-B-2290 | VG80 等效值 | VG100 等效值 | 相當于 VG150 | |||
排氣孔 JIS-B-2290 | 相當于 VF80 | 相當于 VF100 | ||||
尺寸 W×D×H *6 | 296×575×260 毫米 | 356×619×320 毫米 | 406×759×340 毫米 | 406×989×340 毫米 | ||
質(zhì)量 | 51 千克 | 86 千克 | 118 千克 | 150 千克 | ||
標準輔助泵 | VD60C 系列 | VD90C 系列 | VS2401 系列 | VS2401 系列 | ||
標準配件 | 使用說明書 1 份,1 單位油 |