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北崎供應ULVAC愛發(fā)科PRC-003A機械增壓泵
參考價: 12541
訂貨量: 1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 北崎供應 產(chǎn)品型號
  • ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 北京市 所在地

訪問次數(shù):31更新時間:2025-06-07 15:01:05

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產(chǎn)品簡介
應用領(lǐng)域 化工,能源,電氣,綜合
ULVAC愛發(fā)科PRC-003A機械增壓泵
“Model:PRC" 是一種機械式增壓泵,主要用于需要特別清潔度的半導體和液晶制造工藝。
采用封閉電機,油不會從軸封中泄漏。 也可以選擇大氣壓驅(qū)動類型作為選項。
產(chǎn)品介紹

ULVAC愛發(fā)科PRC-003A機械增壓泵

ULVAC愛發(fā)科PRC-003A機械增壓泵

由于無

油套管腔中沒有潤滑油,因此即使對水蒸氣等蒸汽和溶劑也能獲得穩(wěn)定的性能。

屏蔽電機通過采用屏蔽電機,

我們能夠消除大氣/真空的機械密封。 無需擔心漏油,可在清潔的環(huán)境中使用。

具有優(yōu)異耐腐蝕性的

表面處理主要部件采用陽極氧化處理,表面硬度高,耐腐蝕性優(yōu)異,抑制了泵內(nèi)部的劃痕和腐蝕。 還提供可選的表面處理。

由于它可以與常壓驅(qū)動型(選項:變頻)

粗抽泵同時啟動,從而有效地縮短了抽氣時間,因此與標準型相比,可以縮短排氣時間。

除了針對特殊應用的標準可選支持

外,還提供用于特殊應用的型號。


氣相沉積、濺射、離子鍍

真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣

分析儀器, 泄漏測試設備

氣體置換、填充、真空絕熱

熱處理爐、熔煉爐

其他真空設備


型號 *1PRC-003A 系列PRC-006A 系列PRC-012A 系列PRC-018A 系列
最大抽速50 赫茲280米3/h
(4670 升/分鐘)
500 米3/h
(8330 升/分鐘)
1000 米3/h
(16700 升/分鐘)
1500米/h
(25000 升/分鐘)
60 赫茲330 米3/h
(5500 升/分鐘)
600米3/h
(10000 升/分鐘)
1200米3/h
(20000 升/分鐘)
1800 米3/h
(30000 升/分鐘)
最大吸入壓力50 赫茲1.2 x 101.3 x 101.2 x 10
60 赫茲約9.3 x 101.1 x 10約9.3 x 10
最大允許壓差50 赫茲4.0 x 107.3 x 104.3 x 10
60 赫茲3.3 x 106.0 x 103.2 x 10
極限壓力 *24.0 x 10-1 6.7 x 10-1 
可驅(qū)動壓力~1.0 x 10PA (大氣壓力驅(qū)動)
電機 *3格式屏蔽式三相異步電動機
高效級
輸出0.75 kW (2 極)2.2 kW (2 極數(shù))3.7 kW (2 極數(shù))5.5 kW (2 極)
電壓
(200V 級電機)
50 赫茲200 伏
60 赫茲200/220 伏
使用油 *4
ULVOIL R-42
所需油量0.7 升1.5 升1.9 升
冷卻方式  水冷式
冷卻水入口壓力0.3 米帕
入口壓差0.01 Mpa 或更高
冷卻水量2 升/分鐘3 升/分鐘
冷卻水溫度 *55 ~ 30 °C
進氣口 JIS-B-2290VG80 等效值VG100 等效值相當于 VG150
排氣孔 JIS-B-2290相當于 VF80相當于 VF100
尺寸 W×D×H *6296×575×260 毫米356×619×320 毫米406×759×340 毫米406×989×340 毫米
質(zhì)量51 千克86 千克118 千克150 千克
標準輔助泵VD60C 系列VD90C 系列
VS2401 系列
VS2401 系列
標準配件使用說明書 1 份,1 單位油




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