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OKANO（岡野）真空計
OKANO（日本岡野株式會社）是專業(yè)真空測量設(shè)備制造商，其真空計以高精度、寬量程、強(qiáng)抗污染能力著稱，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。
1. 核心技術(shù)優(yōu)勢
抗污染設(shè)計：
電離規(guī)采用抗氧化陰極（IG-500A），壽命延長3倍。
電容規(guī)（CG系列）全金屬密封，耐酸堿腐蝕。
智能校準(zhǔn)：
自動零點(diǎn)校正（GP系列），減少溫度漂移影響。
數(shù)字補(bǔ)償算法（復(fù)合真空計），提升交叉量程精度。
快速響應(yīng)：
熱規(guī)（GP系列）響應(yīng)時間＜0.5秒，適用于動態(tài)真空控制。
2. 行業(yè)解決方案
半導(dǎo)體制造：
刻蝕設(shè)備真空度實(shí)時監(jiān)測（IG-300A，防等離子干擾）。
光學(xué)鍍膜：
電子槍蒸發(fā)源壓力控制（復(fù)合真空計，量程無縫切換）。
科研實(shí)驗(yàn)：
同步輻射裝置超高真空（10?? Pa ，配分子泵組）。
3. 使用與維護(hù)要點(diǎn)
安裝位置：
避免直接對準(zhǔn)泵口或氣流沖擊位置（防止顆粒污染傳感器）。
校準(zhǔn)周期：
皮拉尼規(guī)每12個月校準(zhǔn)，電離規(guī)每6個月（高精度應(yīng)用需更頻）。
故障排查：
讀數(shù)異常時先檢查電纜連接（電離規(guī)需預(yù)熱10分鐘）。
