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【高斯摩分享】什么是真空計?

2025-5-7  閱讀(153)

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OKANO(岡野)真空計

OKANO(日本岡野株式會社)是專業(yè)真空測量設(shè)備制造商,其真空計以高精度、寬量程、強(qiáng)抗污染能力著稱,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。


1. 核心技術(shù)優(yōu)勢

  • 抗污染設(shè)計

    • 電離規(guī)采用抗氧化陰極(IG-500A),壽命延長3倍。

    • 電容規(guī)(CG系列)全金屬密封,耐酸堿腐蝕。

  • 智能校準(zhǔn)

    • 自動零點(diǎn)校正(GP系列),減少溫度漂移影響。

    • 數(shù)字補(bǔ)償算法(復(fù)合真空計),提升交叉量程精度。

  • 快速響應(yīng)

    • 熱規(guī)(GP系列)響應(yīng)時間<0.5秒,適用于動態(tài)真空控制。


2. 行業(yè)解決方案

  • 半導(dǎo)體制造

    • 刻蝕設(shè)備真空度實(shí)時監(jiān)測(IG-300A,防等離子干擾)。

  • 光學(xué)鍍膜

    • 電子槍蒸發(fā)源壓力控制(復(fù)合真空計,量程無縫切換)。

  • 科研實(shí)驗(yàn)

    • 同步輻射裝置超高真空(10?? Pa ,配分子泵組)。


3. 使用與維護(hù)要點(diǎn)

  • 安裝位置

    • 避免直接對準(zhǔn)泵口或氣流沖擊位置(防止顆粒污染傳感器)。

  • 校準(zhǔn)周期

    • 皮拉尼規(guī)每12個月校準(zhǔn),電離規(guī)每6個月(高精度應(yīng)用需更頻)。

  • 故障排查

    • 讀數(shù)異常時先檢查電纜連接(電離規(guī)需預(yù)熱10分鐘)。



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