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OKANO(岡野)真空計
OKANO(日本岡野株式會社)是專業(yè)真空測量設(shè)備制造商,其真空計以高精度、寬量程、強(qiáng)抗污染能力著稱,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。
1. 核心技術(shù)優(yōu)勢
抗污染設(shè)計:
電離規(guī)采用抗氧化陰極(IG-500A),壽命延長3倍。
電容規(guī)(CG系列)全金屬密封,耐酸堿腐蝕。
智能校準(zhǔn):
自動零點(diǎn)校正(GP系列),減少溫度漂移影響。
數(shù)字補(bǔ)償算法(復(fù)合真空計),提升交叉量程精度。
快速響應(yīng):
熱規(guī)(GP系列)響應(yīng)時間<0.5秒,適用于動態(tài)真空控制。
2. 行業(yè)解決方案
半導(dǎo)體制造:
刻蝕設(shè)備真空度實(shí)時監(jiān)測(IG-300A,防等離子干擾)。
光學(xué)鍍膜:
電子槍蒸發(fā)源壓力控制(復(fù)合真空計,量程無縫切換)。
科研實(shí)驗(yàn):
同步輻射裝置超高真空(10?? Pa ,配分子泵組)。
3. 使用與維護(hù)要點(diǎn)
安裝位置:
避免直接對準(zhǔn)泵口或氣流沖擊位置(防止顆粒污染傳感器)。
校準(zhǔn)周期:
皮拉尼規(guī)每12個月校準(zhǔn),電離規(guī)每6個月(高精度應(yīng)用需更頻)。
故障排查:
讀數(shù)異常時先檢查電纜連接(電離規(guī)需預(yù)熱10分鐘)。