聯(lián)系電話
高斯摩(成都)國際貿易有限公司
中級會員·1年
- 聯(lián)系人：
- 汪雅琪
- 電話：
- 86-028-87319898
- 手機：
- 13166082288
- 傳真：
- 86-028-85068959
- 地址：
- 四川成都市高新區(qū)天府大道中段500-1號東方希望天祥廣場C座4527室
- 個性化：
- www.cosimoinc.cn
掃一掃訪問手機商鋪
ULVAC愛發(fā)科
多級羅茨干式真空泵
什么是多級羅茨干式真空泵？
多級羅茨真空泵是一種在真空室中不使用油或液體的機械真空泵。
多級羅茨干式真空泵的特點
羅茨干式真空泵是一種集成多級機械增壓泵的干式真空泵。采用三葉轉子的羅茨式干式真空泵，在一根軸上連接有多個轉子，可以壓縮并排出空氣直至大氣壓。轉子殼內不使用油等密封液，排氣干凈。齒輪和軸承的潤滑采用油，但設計了密封結構以防止油進入殼體。
【優(yōu)點】可獲得潔凈的真空，從大氣壓到極限壓力均可使用。
【缺點】容積效率比接觸泵差。
多級羅茨干式真空泵的工作原理
氣體由高速旋轉的轉子輸送
該泵在一個稱為殼體的盒子內有兩個三葉轉子（旋轉體），它們通過一對齒輪以相同的速度沿相反方向旋轉。轉子之間、轉子與殼體之間并不接觸，而是保持較小的間隙旋轉，以輸送和壓縮氣體。轉子采用多級結構，將氣體壓縮至大氣壓，并排入大氣。
多級羅茨干式真空泵的主要用途
FPD制造設備、半導體制造設備、真空蒸餾、凈化脫氣、滅菌、干燥、脫水、消毒等。
CVD裝置、蝕刻裝置、灰化裝置、ALD、ALH等，PVD工藝
應用
空氣、惰性氣體等清潔氣體的真空排氣
各種成膜設備裝料室、卸料室的排氣
真空干燥、真空氣體置換、真空脫氣等一般工業(yè)應用
真空絕熱、充氣等真空氣體置換
應用行業(yè)：
FPD、電子、半導體領域等。
化工、制藥、太陽能光伏、食品和醫(yī)療等領域。?
CR系列風冷羅茨式干式真空泵
用途：
應用
空氣、惰性氣體等清潔氣體的真空排氣
真空干燥等水蒸氣排放（需使用氣鎮(zhèn)）
用于濺射、沉積等的真空設備。
LR系列應用
成膜設備（濺射設備/蒸鍍設備等）
縮短準備和取出室的排氣時間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵和機械增壓泵的輔助排氣）
