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6610KOFLOC科賦樂 壓力調(diào)節(jié)閥
| 參考價: | ￥ 4650 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 6610 產(chǎn)品型號
- KOFLOC/科賦樂 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：81更新時間：2025-05-24 11:15:07
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產(chǎn)品簡介
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|
低壓調(diào)節(jié)專用精密調(diào)節(jié)器 壓力調(diào)節(jié)閥 與MODEL6600相比，新開發(fā)的本儀器在低壓側(cè)精度更高，重現(xiàn)性更好，能夠快速準(zhǔn)確地進(jìn)行壓力調(diào)節(jié)。本產(chǎn)品*適合用于高靈敏度的分析儀器、研究開發(fā)或半導(dǎo)體制造設(shè)備。
產(chǎn)品介紹
KOFLOC科賦樂 壓力調(diào)節(jié)閥
KOFLOC科賦樂 壓力調(diào)節(jié)閥
具有低壓側(cè)高精度控制的特性
將壓力設(shè)為0.01?0.15MPa，在此條件下對于一次側(cè)壓力變化、二次側(cè)負(fù)荷電阻變化，具有重現(xiàn)性在±1％以內(nèi)的高控制性能。
不使用潤滑油
接觸氣體部分由不銹鋼、氟橡膠、氟樹脂制成，不使用任何潤滑油，*適合需要保持純凈狀態(tài)的半導(dǎo)體領(lǐng)域等。
防松螺母結(jié)構(gòu)
通過防松螺母固定設(shè)定過一次的壓力調(diào)節(jié)位置，可防止設(shè)定發(fā)生變化。
不滲液型
本產(chǎn)品屬于不滲液型，不會發(fā)生氣體外泄，請您放心使用。
用途
用于氣相色譜儀
用于高純度氣體控制
用于低壓控制設(shè)備
用于半導(dǎo)體領(lǐng)域等
技術(shù)優(yōu)勢
熱式技術(shù)（氣體）：
基于熱擴(kuò)散原理，直接測量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補(bǔ)償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。
壓差式技術(shù)（液體）：
通過層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設(shè)計(jì)：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報(bào)警（流量超限、傳感器異常）。
典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應(yīng)時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認(rèn)證（Ex d IIC T6）。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn)。
方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 流體 | 各種氣體 |
|---|---|
| 一次側(cè)*大壓力 | 0.4MPa |
| 二次側(cè)控制壓力 | 0.01?0.15MPa |
| *大流量 | 5L/MIN |
| *小工作壓差 | 0.1MPa以上 |
| 耐壓力 | 0.8MPa |
| 重現(xiàn)性 | 在額定壓力的±1％范圍內(nèi) |
| 環(huán)境溫度 | 5?60℃ |
| 接口 | Rc1/8 |
| 流體接觸部分材質(zhì) | SUS316、氟橡膠、硬質(zhì)玻璃 氟樹脂、SUS304、SUS303 |
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