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美薩科技（蘇州）有限公司

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當(dāng)前位置：美薩科技（蘇州）有限公司>>光源設(shè)備>>YAMADA山田光學(xué)>> YP-150IYAMADA山田光學(xué)晶圓檢測(cè)用氙燈

YAMADA山田光學(xué)晶圓檢測(cè)用氙燈返回列表頁

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產(chǎn)品型號(hào)YP-150I

品牌YAMADA/日本雅瑪達(dá)

廠商性質(zhì)代理商

所在地蘇州市

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更新時(shí)間：2025-06-09 11:19:28瀏覽次數(shù)：16次

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產(chǎn)品分類品牌分類

光源設(shè)備: YAMADA山田光學(xué)

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

供貨周期	一個(gè)月以上

YAMADA山田光學(xué)晶圓檢測(cè)用氙燈半導(dǎo)體晶圓檢查燈是半導(dǎo)體制造過程中的專業(yè)照明設(shè)備，專門設(shè)計(jì)用于晶圓生產(chǎn)過程中的缺陷檢測(cè)和質(zhì)量控制環(huán)節(jié)。隨著半導(dǎo)體工藝節(jié)點(diǎn)不斷縮?。◤奈⒚准?jí)發(fā)展到現(xiàn)在的納米級(jí)），對(duì)晶圓表面缺陷的檢測(cè)要求越來越高，專業(yè)的檢查照明系統(tǒng)成為確保芯片良率的關(guān)鍵因素之一。

詳情介紹

YAMADA山田光學(xué)晶圓檢測(cè)用氙燈

半導(dǎo)體晶圓檢查燈是半導(dǎo)體制造過程中的專業(yè)照明設(shè)備，專門設(shè)計(jì)用于晶圓生產(chǎn)過程中的缺陷檢測(cè)和質(zhì)量控制環(huán)節(jié)。隨著半導(dǎo)體工藝節(jié)點(diǎn)不斷縮?。◤奈⒚准?jí)發(fā)展到現(xiàn)在的納米級(jí)），對(duì)晶圓表面缺陷的檢測(cè)要求越來越高，專業(yè)的檢查照明系統(tǒng)成為確保芯片良率的關(guān)鍵因素之一。

現(xiàn)代半導(dǎo)體晶圓檢查燈采用優(yōu)良的光學(xué)技術(shù)和精密的光源設(shè)計(jì)，能夠提供均勻、穩(wěn)定且特定波長(zhǎng)的高質(zhì)量照明，幫助檢測(cè)人員或自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)(AOI)系統(tǒng)識(shí)別晶圓表面的微粒污染、劃痕、圖案缺陷、殘留物等各種異常情況。這些設(shè)備通常集成在潔凈室環(huán)境中，滿足半導(dǎo)體制造對(duì)潔凈度和穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。

半導(dǎo)體晶圓檢查燈的特點(diǎn)

1. 精密光譜控制

半導(dǎo)體晶圓檢查燈具備精確的光譜控制能力，可提供特定波長(zhǎng)的單色光或多色光組合。不同波長(zhǎng)的光對(duì)各類缺陷的顯現(xiàn)效果不同，例如短波長(zhǎng)光（如紫外或深藍(lán)光）對(duì)微小顆粒和表面拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)更敏感，而長(zhǎng)波長(zhǎng)光可能更適合檢測(cè)某些薄膜缺陷。

2. 高均勻性照明

檢查燈設(shè)計(jì)確保照明區(qū)域內(nèi)的光強(qiáng)分布高度均勻，通常均勻性可達(dá)90%以上，避免因照明不均導(dǎo)致的檢測(cè)誤差。優(yōu)良的導(dǎo)光技術(shù)和光學(xué)擴(kuò)散系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)這一特性的關(guān)鍵。

3. 可調(diào)光強(qiáng)與穩(wěn)定輸出

設(shè)備提供寬范圍的光強(qiáng)調(diào)節(jié)功能，同時(shí)保持出色的光強(qiáng)穩(wěn)定性（通常波動(dòng)小于1%），確保長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)過程中的一致性，避免因光強(qiáng)波動(dòng)導(dǎo)致的誤判。

4. 多角度照明設(shè)計(jì)

專業(yè)的晶圓檢查燈常配備多角度照明選項(xiàng)，包括同軸光、環(huán)形光、側(cè)向光、暗場(chǎng)照明等不同模式，以適應(yīng)不同類型缺陷的檢測(cè)需求。例如，同軸光適合表面污染檢測(cè)，而暗場(chǎng)照明對(duì)劃痕和拓?fù)淙毕莞舾小?/p>

5. 潔凈室兼容性

檢查燈采用無塵設(shè)計(jì)，材料選擇上避免產(chǎn)生微粒污染，符合ISO 14644-1潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí)具備低發(fā)熱特性，減少熱對(duì)流對(duì)潔凈室氣流的影響。

6. 智能化控制

現(xiàn)代設(shè)備配備數(shù)字控制系統(tǒng)，支持預(yù)設(shè)照明方案、自動(dòng)調(diào)節(jié)、遠(yuǎn)程控制等功能，并能與自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)無縫集成，實(shí)現(xiàn)高效的工作流程。

YAMADA山田光學(xué)晶圓檢測(cè)用氙燈

YAMADA山田光學(xué)高亮度鹵素光源設(shè)備YP-150I

YAMADA山田光學(xué)高亮度鹵素光源設(shè)備YP-250I

YP-150I 高亮度鹵素射鏡

用于Si薄片，玻璃表面的瑕疵檢查的照明光源，微小瑕疵也可被檢測(cè)出來

特點(diǎn)】
1. 大于 400,000luxes的照明光線可容易檢測(cè)出只有精密探測(cè)儀才可測(cè)出的瑕疵。(照射面積為 30mmdia).

2. 使用鹵素?zé)糇鳛楣庠?，色溫高達(dá)3400°K，照光和顏色均一保證了穩(wěn)定強(qiáng)光的照射。

3. 由于冷鏡的使用，使得熱影響與常規(guī)鋁鏡相比較少1/2 到 1/3

4. 光束直徑由鏡片調(diào)整，30-50mm 之間調(diào)整

5. 底部開光，調(diào)整照明勘察器高度，操作簡(jiǎn)便，可控制光量。

高亮度鹵素射鏡
	YP-150I	YP-250I
照射范圍	30mmφ	60mmφ
照度	≥ 400,000 lｘ	←
照射距離	140mm	220mm
光源	鹵素?zé)?使用冷鏡)	←
燈型	JCR15V150W	ELC24V250W
壽命	50小時(shí)	35 小時(shí)
色溫	3,400K°	←
色調(diào)	白	←
環(huán)境溫度	0～40℃	←
冷卻方式	強(qiáng)制排氣	←
連接	12φ	20φ
尺寸	100(W)×245(H)×116（D）mm	120(W)×388(H)×130(D)mm
重量	1.7 ㎏(17N)	2.7 ㎏(27N)
輸入電壓	AC100V 50/60Hz	AC100V 50/60Hz
功率	200W	350W
變化范圍	AC5～12V	AC10～22V
環(huán)境溫度	0～40℃	←
冷卻方式	自然	強(qiáng)制排氣
尺寸	140(W)×94(H)×185(D)mm	135(W)×72(H)×260(D)mm
重量	2.4 ㎏	2 ㎏
其他	輸入電線 :2m VCTF-電線 0.75sq (外加一插座) 輸出電線 :2m VCTF-電線 1.25sq (外加一金屬連接器) 腳踏開關(guān)線:3m (底部金屬連接器)	輸入電線 :2m VCTF-電線 0.75sq (外加一插座) 輸出電線 :2m VCTF-電線 1.25sq (外加一金屬連接器)<span none"="">

日本山田光學(xué)YP-150I/250I高亮度鹵素射鏡

日本山田光學(xué)YAMADA高照度鹵素強(qiáng)光燈YP-150I/YP-250I

高亮度鹵素光源設(shè)備

是宏観観察用的照明設(shè)備，可検測(cè)各種缺陥如半導(dǎo)體晶片及液晶基板加工中費(fèi)人工的成形製品表面
的異物、刮痕、拋光不均、霧狀、劃傷等。

概要

　　1.　可照明様品表面範(fàn)囲於400.000Lx以上。

　　2.　因使用鹵素光源燈的光源，具有色溫度高、光照不均的減少及非常穏定鋭利照明的特性。
　　　　

　　3.　冷反射鏡受熱影響是鋁鏡的1/3
　　　　

　　4.　二段切換構(gòu)造，可用按扭切換高照明観察及低照明観察。
　　　　
　　　　YP-150I???照度範(fàn)囲　φ30
　　　　YP-250I???照度範(fàn)囲　φ60
　　　?。╕P-250I的通風(fēng)機(jī)可選択螺旋式風(fēng)扇或管道通風(fēng)機(jī)形）

銷售各類日系工業(yè)品:tokyokeiso東京計(jì)裝（流量計(jì)），kofloc科賦樂（流量計(jì)），onosokki小野測(cè)器（汽車轉(zhuǎn)速表），yamada山田鹵素（強(qiáng)光燈）,SSD西西蒂(離子風(fēng)扇)、AND愛安得（電子天平）、SAN-EI三英(點(diǎn)膠閥） HOYA光源,KURABO脫泡機(jī),USHIO牛尾照度計(jì),Tsubosaka壺坂電機(jī),IMV愛睦威,PISCO匹士克接頭,hakko八光電機(jī),lambda拉姆達(dá)膜厚儀,MUSASHI武藏,SAKURAI櫻井,aitec艾泰克,otsuka大塚（膜厚儀、粒度儀）,Hitachi日立（掃描電鏡）,MIKASA米卡薩（旋涂設(shè)備、顯影）、POLARION普拉瑞、AITEC艾泰克（檢查光源）、Iwasaki巖崎、OTSUKA大塚電子（光學(xué)膜厚儀）、KOSAKA小坂（臺(tái)階儀）、HORIBA堀場(chǎng)儀器（分析儀）、SIBATA柴田科學(xué)（環(huán)境測(cè)定）、TORAY東麗濃度儀（氧氣分析儀）、CEDAR思達(dá)