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2025年10月28日-30日，由中國科學院上海硅酸鹽研究所主辦的第二屆“半導(dǎo)體材料與器件量測和檢測技術(shù)培訓(xùn)班"在滬成功舉辦。作為全球領(lǐng)先的分析儀器與解決方案提供商，珀金埃爾默（PerkinElmer）受邀參展并發(fā)表專題報告，全面展示在半導(dǎo)體材料檢測領(lǐng)域的前沿技術(shù)與本地化服務(wù)能力。
會議背景
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)密集、工藝復(fù)雜，涉及數(shù)百道精密工序。隨著制程不斷微縮，對材料純度、制造精度及品質(zhì)管控也在呈指數(shù)級增長。為加強高技能人才隊伍建設(shè)，提升科研人員對先進分析技術(shù)的理解與應(yīng)用能力，本次培訓(xùn)班匯聚來自科研院所、高校及企事業(yè)單位的86位專業(yè)學員，圍繞光電材料、第三代半導(dǎo)體材料、傳感器與MEMS、可靠性測試、失效分析、缺陷檢測和量測等熱點方向展開系統(tǒng)培訓(xùn)。
珀金埃爾默精彩亮相
我們在現(xiàn)場設(shè)置了專業(yè)展臺，集中展示了面向半導(dǎo)體行業(yè)的全流程分析檢測解決方案，涵蓋：
? 高純材料雜質(zhì)分析（ICP-MS）
? 微量元素檢測（AAS、ICP-OES）
? 材料結(jié)構(gòu)與成分表征（UV、IR、TEA）
? 有機污染物及氯硅烷分析檢測（GC/MS）
吸引眾多科研人員駐足交流，深入探討在前驅(qū)體、晶圓、封裝等環(huán)節(jié)中的實際應(yīng)用挑戰(zhàn)。
主講人：朱敏
? 珀金埃爾默分析儀器應(yīng)用技術(shù)負責人
報告內(nèi)容精要
報告系統(tǒng)介紹了ICP-MS技術(shù)在半導(dǎo)體金屬基材料檢測中的應(yīng)用，重點剖析了分析面臨的關(guān)鍵挑戰(zhàn)，如基體效應(yīng)、質(zhì)譜干擾以及儀器長時間分析的穩(wěn)定性等問題，為應(yīng)對這些挑戰(zhàn)，他介紹了相關(guān)解決思路和優(yōu)化方法，如全基體氣體稀釋技術(shù)、等離子體條件選擇，通用池去干擾參數(shù)以及利用先進三錐大孔徑接口和四極桿離子偏轉(zhuǎn)技術(shù)在基體耐受性和空間電荷效應(yīng)的出色表現(xiàn)等，并重點介紹了前驅(qū)體的應(yīng)用案例和實驗數(shù)據(jù)。
最后他強調(diào)，技術(shù)創(chuàng)新與全過程質(zhì)量控制是推動半導(dǎo)體材料向更高純度、更高一致性發(fā)展的關(guān)鍵，珀金埃爾默將依托全面的專業(yè)服務(wù)能力和上海張江半導(dǎo)體潔凈間，持續(xù)深耕分析技術(shù)前沿，為行業(yè)進步和廣大客戶提供堅實的技術(shù)支持。
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