托托科技多模態(tài)光電顯微鏡應(yīng)用案例分享

燭龍™系列中的多模態(tài)光電顯微鏡是一臺(tái)具有超高穩(wěn)定性的多功能光電綜合測(cè)試和微加工系統(tǒng)，可根據(jù)客戶需求提供多種靈活可選的配置和方案。系統(tǒng)集成了電動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)和振鏡的掃描方式，可實(shí)現(xiàn)瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)下的光電流測(cè)試和掃描成像，熒光壽命測(cè)試和掃描成像，拉曼光譜測(cè)試，二次諧波測(cè)試，熒光光譜采集，發(fā)射和吸收等光譜端的測(cè)試和掃描成像。除此之外，整套系統(tǒng)可搭配飛秒脈沖激光器和我司自主研發(fā)的低溫系統(tǒng)進(jìn)行相關(guān)的變溫測(cè)試以及器件表面的微加工和缺陷標(biāo)記。多模態(tài)光電顯微鏡將為眾多新質(zhì)生產(chǎn)力領(lǐng)域提供強(qiáng)大的支持，助力國內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展和科技創(chuàng)新。

太陽能電池的表征和測(cè)試

基于太陽能電池內(nèi)半導(dǎo)體材料PN結(jié)處產(chǎn)生的光生伏特，快速檢測(cè)其產(chǎn)生的電流或電壓可以有效地進(jìn)行器件光電性能的表征和缺陷定位。無論是一代硅基太陽能電池和第二代多元化合物薄膜太陽能電池，還是以鈣鈦礦太陽能電池和量子點(diǎn)太陽能電池為代表的第三代新型太陽能電池。通過測(cè)試其產(chǎn)生的光生電壓和光生電流信號(hào)可以有效地提供電池內(nèi)部電場(chǎng)的動(dòng)態(tài)分布，電荷傳輸和復(fù)合動(dòng)力學(xué)等豐富的信息，為如何提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率和揭示器件內(nèi)部工作機(jī)制提供有效的表征手段。
● 可實(shí)現(xiàn)對(duì)亞微米及以上器件進(jìn)行光電流信號(hào)的掃描成像

● 可在樣品的任意區(qū)域內(nèi)進(jìn)行變溫測(cè)試

● 可在不同激發(fā)波長下進(jìn)行器件偏振特性的研究

● 支持對(duì)不同三端器件進(jìn)行光電流信號(hào)的采集和表征

二維材料的表征和測(cè)試

二維材料具有超高的載流子遷移率，通過改變厚度以及不同元素之間的摻雜，可以有效地調(diào)控其能帶結(jié)構(gòu)，從而展現(xiàn)出眾多優(yōu)異的光電特性。例如窄帶隙二維材料由于具有柵極可調(diào)控的載流子類型以及對(duì)紅外光譜的高靈敏響應(yīng)，因此在紅外光電探測(cè)器中表現(xiàn)出了巨大的應(yīng)用潛力。所以，如何對(duì)二維材料進(jìn)行相關(guān)特性的表征，通過光致發(fā)光掃描的方式，可以在很高的空間分辨率下，實(shí)現(xiàn)不同異質(zhì)結(jié)構(gòu)下更高的熒光量子效率和可調(diào)諧光譜共振，來快速實(shí)現(xiàn)對(duì)二維材料器件的非接觸式表征。
● 可實(shí)現(xiàn)在寬波段激發(fā)光源下對(duì)待測(cè)材料的響應(yīng)特性研究并獲得其白光反射譜

● 可同時(shí)實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)材料光電流信號(hào)和光致發(fā)光光譜信號(hào)的掃描

● 可實(shí)現(xiàn)對(duì)二維材料二次諧波信號(hào)的表征

● 可在不同偏振態(tài)下實(shí)現(xiàn)對(duì)二維材料拉曼特性的掃描和表征 

● 可以在掃描空間分辨率下實(shí)現(xiàn)對(duì)亞微米級(jí)樣品的光電掃描

有機(jī)發(fā)光材料和無機(jī)發(fā)光材料的表征和測(cè)試

面對(duì)新型平板顯示和固體照明技術(shù)的需求，對(duì)發(fā)光材料的不斷研究成為了推動(dòng)顯示和照明產(chǎn)業(yè)升級(jí)換代的重要基礎(chǔ)。其中，無機(jī)金屬鹵化物發(fā)光材料和有機(jī)發(fā)光材料因熒光量子產(chǎn)率高、發(fā)射光譜窄、波長可調(diào)等優(yōu)異特性而備受關(guān)注。因此，通過使用熒光壽命測(cè)試和成像的方式，可以有效地對(duì)發(fā)光材料進(jìn)行高分辨率下的表征，最終得到物理性質(zhì)更好的發(fā)光材料，這為生物成像、輻射探測(cè)、光催化等領(lǐng)域提供了潛在的應(yīng)用前景。
● 可同時(shí)實(shí)現(xiàn)對(duì)發(fā)光材料光致發(fā)光光譜信號(hào)和熒光壽命的測(cè)試和掃描成像

● 可在不同偏振態(tài)下實(shí)現(xiàn)對(duì)發(fā)光材料拉曼特性的掃描和表征

● 可獲得發(fā)光材料的發(fā)射光譜和吸收光譜

● 可在發(fā)光材料的任意區(qū)域內(nèi)進(jìn)行變溫測(cè)試

材料微加工和激光改性

新型材料由于其原子級(jí)的厚度和高結(jié)合能，可調(diào)帶和谷電子學(xué)等性質(zhì)，引起了人們的廣泛關(guān)注。特別是二維材料，由于各種二維材料在各個(gè)物理特性方面各有優(yōu)劣，因此，配合成熟的飛秒激光加工方案，通過激光改性的方式，可以有效地突破材料原有屬性的制約，改變其原有的光學(xué)特性和表面浸潤性，促進(jìn)材料對(duì)不同波長的光吸收率，提高其電磁屏蔽等性能。除此之外，還可以通過調(diào)節(jié)飛秒激光器的功率，以打點(diǎn)或掃面等多種方式在材料表面加工呈周期性的微結(jié)構(gòu)和激光標(biāo)記，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面性質(zhì)的調(diào)控和缺陷點(diǎn)的標(biāo)記，來為環(huán)境工程、航空航天、半導(dǎo)體檢測(cè)以及生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域提供潛在的新型應(yīng)用。
● 可以提供運(yùn)動(dòng)臺(tái)式飛秒加工和Galvo掃描振鏡的飛秒加工方案，實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面的快速加工和改性

● 提供友好的加工操作軟件，可以實(shí)現(xiàn)客戶對(duì)各種材料表面的自定義加工

● 可對(duì)半導(dǎo)體晶圓和電子電路器件進(jìn)行缺陷點(diǎn)的標(biāo)記

● 可實(shí)現(xiàn)對(duì)納米材料的合成和光柵、光波導(dǎo)以及微透鏡等光子晶體器件的加工