官方微信|手機(jī)版

產(chǎn)品展廳

產(chǎn)品求購(gòu)企業(yè)資訊會(huì)展

發(fā)布詢價(jià)單

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>化工機(jī)械設(shè)備>泵閥類>其它泵閥設(shè)備> 瑞士VAT95.3 - 高真空控制和隔離閥組合單元

分享
舉報(bào) 評(píng)價(jià)

瑞士VAT95.3 - 高真空控制和隔離閥組合單元

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

聯(lián)系方式:潘工查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司2018年成立,現(xiàn)在整個(gè)市場(chǎng)有一批受眾用戶,因業(yè)務(wù)發(fā)展需要,所有的產(chǎn)品均從境外采購(gòu)進(jìn)貨,您可以避免國(guó)內(nèi)合作商、辦事處和經(jīng)銷商的分級(jí)合作商,層層盤剝的模式,享受到價(jià)格低、貨期短,而且100%歐洲原裝*的采購(gòu)服務(wù)。

對(duì)于一些德國(guó)產(chǎn)品,我們通過(guò)集中批量采購(gòu)以獲取廠商較大折扣,可以提供比國(guó)內(nèi)市場(chǎng)價(jià)格更低的報(bào)價(jià)。

能夠提供不同國(guó)別、廠商的設(shè)備配件,解決您多處尋找的麻煩和對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的擔(dān)心等,在價(jià)格上我們有很大的優(yōu)勢(shì),公司備有大量的現(xiàn)貨,是國(guó)內(nèi)庫(kù)存量Z多的公司之一,以更專業(yè)的服務(wù),把咨詢,銷售,售后服務(wù)一整套體系做的更完善,讓客戶能夠更放心的購(gòu)買我們的產(chǎn)品,對(duì)我們的服務(wù)有更滿意的評(píng)價(jià)!

我們客戶遍及石化、化工、化纖、鋼鐵、食品、飲料、航空.制藥、采礦、電力、供水及環(huán)保等行業(yè)。

優(yōu)勢(shì)品牌主要有:

德國(guó)寶德BURKERT,德國(guó)BOSCH-REXROTH博世力士樂(lè),德國(guó)FESTO費(fèi)斯托,

德國(guó)STEIMEL施*泵,德國(guó)HIRSCHMAN赫斯曼,德國(guó)HYDAC賀德克,

德國(guó)IFM易福門,德國(guó)TURCK圖爾克,德國(guó)MURR穆爾,德國(guó)HAWE哈威,

美國(guó)紐曼帝克,美國(guó)AB,美國(guó)FAIRCHILD仙童,美國(guó)DENISON丹尼遜,

德國(guó)P F倍加福,德國(guó)BALLUFF巴魯夫,德國(guó)SICK施克,德國(guó)E H,

意大利UNIVER氣動(dòng),意大利ATOS阿托斯,美國(guó)VICKERS威格士,

德國(guó)GSR閥,法國(guó)CROUZET高諾斯,德國(guó)PILZ皮爾茲繼電器,

德國(guó)SCHMERSAL施邁賽,德國(guó)SIEMENS西門子,美國(guó)ROSS閥,

美國(guó)MAC電磁閥,美國(guó)PARKER派克,美國(guó)MOOG穆格伺服閥,

美國(guó)派克電磁閥,美國(guó)威格士電磁閥,美國(guó)ASCO阿斯卡,

德國(guó)STAUFF西德福,德國(guó)NEGELE耐格,德國(guó)EMG伺服閥,

德國(guó)MAHLE馬勒,德國(guó)海隆HERION,英國(guó)諾冠NORGREN,

美國(guó)UE壓力開關(guān),美國(guó)MTS位移傳感器,

以及法國(guó)高諾斯繼電器,日本CKD,日本豐興,日本不二越,

日本大金,日本SUNX,日本黑田精工,日本東京美.日本SMC。

公司具有豐富的氣動(dòng)工控液壓產(chǎn)品銷售經(jīng)驗(yàn),多年來(lái)與世界各國(guó)的較有名廠商相繼建立了良好的合作關(guān)系,所銷產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)各工業(yè)領(lǐng)域,公司依仗品牌的優(yōu)勢(shì),以靈活的經(jīng)營(yíng)方式,多渠道,*地為客戶提供先進(jìn)的自動(dòng)化產(chǎn)品。

在此歡迎來(lái)電垂詢,我們將竭誠(chéng)為您服務(wù),客戶的滿意,就是我們的成功!

德國(guó)EPRO,EPRO傳感器,EPRO探頭,EPRO模塊,PR6424,PR6426,PR9268,PR9350,MMS6000

應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT95.3 - 高真空控制和隔離閥組合單元

1. 產(chǎn)品概述

  • 型號(hào):VAT 95.3

  • 類型:集成式高真空閥組(控制閥+隔離閥組合)

  • 品牌:VAT Group(瑞士真空技術(shù)專家)

  • 設(shè)計(jì)理念:緊湊型模塊化設(shè)計(jì),減少管路連接點(diǎn),提升系統(tǒng)可靠性

  • 典型應(yīng)用:半導(dǎo)體刻蝕/沉積設(shè)備、光伏鍍膜系統(tǒng)、科研真空裝置


2. 核心組成與配置

組件技術(shù)特性
主控制閥VAT 54.1系列金屬密封角閥(漏率<1×10?? mbar·l/s)
隔離閥VAT 10.4系列閘閥(快開型,響應(yīng)時(shí)間<100ms)
集成法蘭ISO-KF/CF標(biāo)準(zhǔn),可選DN40~200口徑
傳感器接口預(yù)留真空計(jì)/壓力傳感器安裝位(支持Pirani/電容式)
控制模塊可選本地PLC或遠(yuǎn)程通信(PROFIBUS/DeviceNet)

3. 關(guān)鍵性能參數(shù)

參數(shù)指標(biāo)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)
真空范圍10?? mbar ~ 大氣壓DIN 28400
整體漏率<5×10?? mbar·l/s氦質(zhì)譜檢漏
溫度適應(yīng)性-20°C ~ +150°C(烘烤兼容)SEMI F47
材料兼容性316L不銹鋼+Al?O?鍍層(耐等離子體)ASTM G31
循環(huán)壽命>10?次(主閥)MIL-STD-810G

4. 技術(shù)優(yōu)勢(shì)

① 系統(tǒng)集成優(yōu)化

  • 減少傳統(tǒng)分立閥門間的連接法蘭,漏率降低50%

  • 內(nèi)置流道優(yōu)化設(shè)計(jì),流阻系數(shù)降低30%

② 智能控制功能

  • 可選配閥位傳感器(精度±0.5%)

  • 支持壓力-流量閉環(huán)控制(需搭配MFC)

③ 維護(hù)便捷性

  • 模塊化設(shè)計(jì),單個(gè)閥門更換時(shí)間<30分鐘

  • 正面維護(hù)接口,無(wú)需拆卸整個(gè)真空腔室


5. 半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用案例

設(shè)備類型功能實(shí)現(xiàn)VAT 95.3定制方案
等離子刻蝕機(jī)工藝腔室壓力分段控制增加WF?專用鍍層
ALD系統(tǒng)前驅(qū)體氣體脈沖注入集成快速響應(yīng)閥(<30ms)
離子注入機(jī)束線真空隔離無(wú)磁化材料版本

6. 安裝與調(diào)試指南

安裝規(guī)范

  1. 使用激光對(duì)中儀確保安裝平面度<0.1mm/m

  2. 所有螺栓按十字交叉順序緊固(扭矩值見下表)

法蘭規(guī)格扭矩值(Nm)緊固順序
ISO-KF DN638~10對(duì)角線漸進(jìn)
CF 4.5"15~18星型模式

調(diào)試流程

  1. 初始抽真空至10?3 mbar,保壓測(cè)試24小時(shí)

  2. 進(jìn)行50次空載循環(huán)測(cè)試

  3. 校準(zhǔn)壓力傳感器零點(diǎn)


7. 維護(hù)計(jì)劃

維護(hù)項(xiàng)目周期操作規(guī)范
密封面檢查每季度使用VAT專用內(nèi)窺鏡(P/N:INS-100)
潤(rùn)滑脂更換每10?次循環(huán)使用VAC-LUBE 200特種潤(rùn)滑脂
全面性能檢測(cè)年度需原廠認(rèn)證工程師執(zhí)行

瑞士VAT95.3 - 高真空控制和隔離閥組合單元



化工儀器網(wǎng)

采購(gòu)商登錄
記住賬號(hào)    找回密碼
沒有賬號(hào)?免費(fèi)注冊(cè)

提示

×

*您想獲取產(chǎn)品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個(gè)人信息:

溫馨提示

該企業(yè)已關(guān)閉在線交流功能