Gatan SmartEMIC電子束感應(yīng)電流測(cè)量系統(tǒng)PX 3072
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電子束蒸發(fā)系統(tǒng),EB-4P電子shu沉積系統(tǒng)
電子束蒸發(fā)系統(tǒng)EB-4P也是電子束沉積系統(tǒng),有四個(gè)容量不同的袖珍坩堝RAITH多功能電子束曝光系統(tǒng)eLINE Plus
探索超越電子束曝光功能的納米工程系統(tǒng)超高分辨電子束曝光、成像及Electron Beam Lithography System(EBL)
納米光刻技術(shù)在微納電子器件制作中起著關(guān)鍵作用,而電子束光刻在納電子束直寫系統(tǒng) CABL-9000C series
產(chǎn)品特點(diǎn)1.采用高亮度和高穩(wěn)定性的TFE電子槍 2.出色