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大尺寸臺式熱原子層沉積系統(tǒng)ALD安瑞克(ANRIC)技術(shù)公司開發(fā)的原子層
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等離子體增強(qiáng)原子層沉積PEALDAT650P(等離子體增強(qiáng))/AT650T(熱型
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小型臺式ALD(原子層沉積)工具專為簡單的操作和安裝而設(shè)計(jì),而不
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AT-200M(熱原子層沉積系統(tǒng))
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粉末原子層沉積系統(tǒng)ALD
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該款A(yù)LD原子層沉積設(shè)備特別適用于科研用戶的小型臺式設(shè)備。它經(jīng)濟(jì)
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Plasmionique支持 CVD / ALD / PECVD / RIE
Plasmionique支持CVD/ALD/PECVD/RIE,加拿大進(jìn)口桌面式設(shè)備,模塊
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市面上最小的ALD,可放進(jìn)手套箱,來自美國哈佛的原子層沉積系統(tǒng)兼

