目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>多弧離子鍍膜儀>> CY-MS500S-2TA1S實驗室多弧離子鍍鍍膜儀
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,能源,建材/家具,電子/電池,鋼鐵/金屬 |
詳情介紹：
實驗室多弧離子鍍鍍膜儀是利用氣體放電或被蒸發(fā)物質(zhì)部分離化，在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)粒子轟擊作用的同時，將蒸發(fā)物或反應(yīng)物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現(xiàn)象、等離子體技術(shù)和真空蒸發(fā)三者有機結(jié)合起來，不僅能明顯地改進了膜質(zhì)量，而且還擴大了薄膜的應(yīng)用范圍。其具有蒸鍍速率快，薄膜附著力強，繞射性好，膜材廣泛等優(yōu)點。十分適合鍍硬質(zhì)保護膜如TiN等。同時由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色，且膜層與基板結(jié)合牢固，故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜。
設(shè)計特色：
本設(shè)備配有兩個多弧靶，分置于腔體兩側(cè)。配合行星式樣品臺可有效的提高鍍膜效率，改善成效果，該鍍膜儀還采用一體化設(shè)計，腔體和電控部分左右分置，實現(xiàn)了水電分離，有力的保證了用戶的**。
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號 | CY-MIOP500S-2TA | ||
真空腔體 | 水冷不銹鋼腔體 φ500mm X 490mm（H） 前開門式，配有φ100mm石英觀察窗 內(nèi)置兩組紅外加熱燈，可對腔體烘烤除氣 預(yù)留多個CF接口，可安裝多路膜厚儀 | ||
進氣系統(tǒng) | 質(zhì)量流量計Ar氣0~200sccm， N2氣0~200sccm其他流量或者氣體可定制 | ||
供電要求 | AC 220V 50Hz 10kW | ||
控制方式 | 15英寸觸控屏 組態(tài)控制軟件 | ||
多弧靶 | 數(shù)量規(guī)格 | 3英寸x2 | |
安裝方式 | 腔體側(cè)方對置 | ||
工作電流 | 0~150A | ||
靶材厚度 | max50mm，min20mm | ||
樣品臺 | 規(guī)格 | 行星式掛架 | |
可懸掛樣品數(shù) | 每支掛架上6個掛點，共計6個掛架 | ||
轉(zhuǎn)速 | 公轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速1~20rpm | ||
真空系統(tǒng)
| 產(chǎn)品型號 | CY-GZK103-A | |
分子泵 | 渦輪分子泵 | ||
前極泵 | 雙極旋片泵 | ||
抽氣速率 | 分子泵：600L/S | 綜合抽氣性能：30分鐘真空度可達：5×10E-3Pa | |
旋片泵：1.1L/S | |||
極限真空 | 5×10E-4Pa | ||
抽氣接口 | KF40 | ||
排氣接口 | KF16 | ||
真空測量 | 復(fù)合真空計 | ||
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