目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>多弧離子鍍膜儀>> CY-MIOP400S-2TA多弧等離子鍍膜設(shè)備
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 1-5萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
本設(shè)備為多弧等離子鍍膜設(shè)備。多弧離子鍍是利用氣體放電或被蒸發(fā)物質(zhì)部分離化，在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)粒子轟擊作用的同時，將蒸發(fā)物或反應(yīng)物沉積在基片上。本設(shè)備配有兩個多弧靶，分置于腔體兩側(cè)。配合行星式樣品臺可有效的提高鍍膜效率，改善成效果該鍍膜儀還采用一體化設(shè)計，腔體和電控部分左右分置，實現(xiàn)了水電分離，有力的保證了用戶的**。
多弧等離子鍍膜設(shè)備功能特點：
離子鍍把輝光放電現(xiàn)象、等離子體技術(shù)和真空蒸發(fā)三者有機結(jié)合起來，不僅能明顯地改進了膜質(zhì)量，而且還擴大了薄膜的應(yīng)用范圍。其具有蒸鍍速率快，薄膜附著力強，繞射性好，膜材廣泛等優(yōu)點。十分適合鍍硬質(zhì)保護膜如TiN等。同時由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色，且膜層與基板結(jié)合牢固，故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜。
多弧等離子鍍膜儀 | ||
樣品臺 | 尺寸 | 行星式樣品臺，外徑305mm，四周六工位 工件可懸掛于各工位的支撐棒上 外周轉(zhuǎn)速1~20rpm可調(diào) |
多弧離子靶 | 數(shù)量 | φ84mm X 2 |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ300mm X 400mm |
觀察窗口 | 前置φ100mm含遮光片 | |
腔體材料 | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
膜厚控制 | 晶振式膜厚測量儀，可選多通道膜厚控制儀 | |
真空系統(tǒng) | 前級泵 | 雙極旋片泵 |
抽氣接口 | KF16 | |
次級泵 | 渦輪分子泵 | |
抽氣接口 | CF160 | |
真空測量 | 電阻+電離 復(fù)合真空規(guī) | |
排氣速率 | 機械泵1.1L/s 分子泵 600L/s | |
極限真空 | 1.0E-5Pa | |
供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 旋片泵：1.1L/S | |
控制系統(tǒng) | 自動控制 操作界面：觸控屏+操作面板 | |
其他 | 供電電壓 | AC380V,50Hz |
整機尺寸 | 1000mm X 800mm X 1500mm | |
整機重量 | 350kg | |
整機功率 | 5kW | |
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