目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>電子束，激光鍍膜儀>> CY-EVP500-EB電子束蒸發(fā)鍍膜儀
| 參考價(jià) | 面議 |
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更新時(shí)間：2025-09-07 20:09:03瀏覽次數(shù)：116評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 1-5萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
該設(shè)備以電子束蒸發(fā)方式鍍膜設(shè)備，主要用于制備各種導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜，微納器件微加工，電鏡樣品預(yù)處理等，尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料。電子束蒸發(fā)鍍膜儀不僅可用于玻璃片、硅片等硬質(zhì)襯底，也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性襯底上鍍膜。
電子束蒸發(fā)鍍膜儀設(shè)備技術(shù)參數(shù)：
使用條件 | 環(huán)境溫度5℃～40℃ 電源：三相380 V,功率：≤20 KW，水壓：≤2.5bar | |
真空室尺寸 | 蒸發(fā)室尺寸：φ500×H500(㎜) | |
電子槍 | 新型電子槍1套，6穴坩堝 | |
樣品轉(zhuǎn)盤 | 樣品尺寸：≤φ150mm，樣品可旋轉(zhuǎn)，也可上下升降調(diào)節(jié)樣品到電子槍距離(樣品托形狀按用戶要求設(shè)計(jì)),加熱溫度≤500℃ | |
系統(tǒng)真空度 | 極限真空 | 經(jīng)12～24小時(shí)烘烤，連續(xù)抽氣≤5x10-5Pa |
抽氣速率 | 從大氣開始40分鐘內(nèi)真空度≤5x10-4Pa | |
系統(tǒng)漏率 | 整機(jī)漏率≤1×10-8Pa.L/s 停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后，測(cè)量真空室真空度≤10Pa | |
抽真空系統(tǒng) | FB1200分子泵+機(jī)械泵(TRP-36)系統(tǒng)，并設(shè)置旁路抽氣 | |
鍍膜監(jiān)測(cè) | 采用SQM160膜厚儀進(jìn)行監(jiān)測(cè) | |
鍍膜厚度 | 鍍膜厚度的不均勻度≤6% | |
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