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【高斯摩分享】 ULVAC愛發(fā)科 旋片式干式真空泵

2025-6-3  閱讀(50)

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ULVAC愛發(fā)科 旋片式干式真空泵

 

什么是旋片式干式真空泵?

當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),葉片通過離心力向外滑動(dòng),與氣缸接觸并旋轉(zhuǎn)。被氣缸、轉(zhuǎn)子和葉片包圍的空間,隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn),從吸氣口吸引的氣體被壓縮,從排氣口排出。

 

旋片式干式真空泵的特點(diǎn)

由于這是無油泵,因此空氣從氣缸和轉(zhuǎn)子之間的間隙回流是不可避免的。多葉片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),盡可能防止回流。由于其結(jié)構(gòu)簡單,且能在低真空范圍內(nèi)達(dá)到較高的抽速,因此被廣泛用作抽吸和輸送機(jī)械的真空源。

【優(yōu)點(diǎn)】在低真空范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高排氣速度。

【缺點(diǎn)】葉片會(huì)產(chǎn)生磨損碎屑。它噪音很大并且會(huì)產(chǎn)生大量熱量。

 

旋片式干式真空泵的工作原理

 當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),離心力使葉片向外滑動(dòng)并與氣缸接觸旋轉(zhuǎn)。

當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),通過進(jìn)氣口吸入的氣體在氣缸、轉(zhuǎn)子和葉片所包圍的空間中被壓縮,然后從排氣口排出。

 

旋片式干式真空泵的主要用途

 電子電氣行業(yè)、食品機(jī)械行業(yè)、包裝機(jī)械行業(yè)、印刷設(shè)備行業(yè)、牙科行業(yè)、產(chǎn)業(yè)機(jī)械行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)的真空源(吸附/抽吸)、包裝機(jī)、濾油機(jī)、

 

應(yīng)用領(lǐng)域  

?半導(dǎo)體制造:用于真空鍍膜、真空熱處理等工藝過程。用于晶圓制造、芯片封裝和測試等環(huán)節(jié)。

?食品加工:用于食品包裝和儲(chǔ)存過程中的真空處理。?

?制藥行業(yè):用于藥品的混合、干燥和包裝等環(huán)節(jié)。?

實(shí)驗(yàn)室:科學(xué)研究和實(shí)驗(yàn),如物理、化學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)。

真空冶金:用于在真空中進(jìn)行金屬和合金的冶煉、提純和精煉等。

化工行業(yè):用于真空蒸餾、真空干燥等工藝過程。

光伏產(chǎn)業(yè)?:在光伏電池的生產(chǎn)中,旋片式干式真空泵用于電池片的清洗、蝕刻和沉積等工藝。

?顯示技術(shù)?:在液晶顯示(LCD)和有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器的制造過程中,旋片式干式真空泵用于基板清洗、真空沉積和封裝等工序。

?電子元器件封裝?:在電子元器件的封裝過程中,旋片式干式真空泵用于去除封裝過程中的氣體。


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