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【高斯摩分享】 渦旋式干式真空泵

2025-6-3  閱讀(58)

分享:

ULVAC愛發(fā)科

渦旋式干式真空泵

什么是渦旋式干式真空泵?

兩個形狀相同的渦旋盤在中心位置略微偏移,使得它們的壁彼此呈線接觸,并且一個渦旋盤相對于另一個渦旋盤進行相對振蕩研磨運動。被困在新月形空間中的氣體被壓縮向中心,并從中心的孔中排出。

 

渦旋式干式真空泵的特點

 從吸入口引入的氣體通過與固定渦旋盤重疊的動渦旋盤,從渦旋盤外部向內部被壓縮。壓縮過程通常設計為兩次或多次進行,從而降低振動和噪音水平。極限壓力可達1Pa。

【優(yōu)點】比羅茨真空泵體積更小、價格更便宜。

【缺點】渦旋前端的密封圈磨損。

 

渦旋式干式真空泵的工作原理

 兩個形狀相同的渦旋盤在中心位置略微偏移,使得它們的壁彼此呈線接觸,并且一個渦旋盤相對于另一個渦旋盤進行相對振蕩研磨運動。被困在新月形空間中的氣體被壓縮向中心,并從中心的孔中排出。

渦旋式干式真空泵的主要應用

 真空干燥設備、理化分析設備、真空吸附輸送設備、真空熱處理爐等。

 

應用行業(yè):

?半導體制造、食品行業(yè)、藥品行業(yè)、化妝品行業(yè)、?太陽能光伏行業(yè)、

?半導體:用于晶圓加工、刻蝕、薄膜沉積等環(huán)節(jié),化學氣相沉積(CVD)過程。

渦旋干泵可以實現(xiàn)真空輸送,適用于粉末、顆粒等物料的輸送。

?真空干燥與包裝?:在食品、藥品、化妝品等行業(yè)的真空冷凍干燥過程中,渦旋干泵可以有效脫水,保持產(chǎn)品形狀和質量;同時,它還用于食品、電子產(chǎn)品等領域的真空包裝過程,延長產(chǎn)品保質期。

?太陽能光伏?:在太陽能光伏行業(yè)中,渦旋干泵用于真空封裝、真空燒結等工藝,提高光伏電池的效率和穩(wěn)定性。?

?食品行業(yè)?:在食品加工中,渦旋式干式真空泵用于食品的干燥、脫水和包裝等環(huán)節(jié)。

?制藥行業(yè)?:在藥品生產(chǎn)中,渦旋式干式真空泵用于原料藥的干燥、結晶和分離等過程。

?化工行業(yè)?:在化工生產(chǎn)中,渦旋式干式真空泵用于聚合反應、蒸餾、干燥等工藝。在聚合反應中,該泵可以排除反應體系中的空氣和水分,防止反應受到干擾?。

?科研領域:真空鍍膜、材料科學研究中的高真空熱處理等。低溫物理實驗、高真空環(huán)境下的化學反應等。

環(huán)保工程:渦旋式干式真空泵用于廢氣處理和真空吸附過程,去除有害氣體和污染物。


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