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邁可諾技術(shù)有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第12年
MC應(yīng)用｜微納加工中的等離子處理和勻膠旋涂2020/11/16
結(jié)合使用等離子處理和旋涂，研究人員可以獲得具有更高穩(wěn)定性和性能的均勻材料涂層。等離子體處理通過引入含有親水性氧的官能團(tuán)來改變表面化學(xué)性質(zhì)。極性基團(tuán)使基材可潤(rùn)濕，并且能夠更好地與水溶液相互作用。等離子處理促進(jìn)了粘附力并在基材上平滑鋪展。旋涂設(shè)備利用離心力來產(chǎn)生水平，均勻的薄膜和涂層。通過試驗(yàn)轉(zhuǎn)速和加速度，研究人員可以JINQUE地確定特定的膜厚。旋涂可改善設(shè)備質(zhì)量和專業(yè)外觀。這些工具可以無縫地協(xié)同工作，以在各種基材上提供均勻的膜和涂層。在許多應(yīng)用中，一致的涂層特性可提高穩(wěn)定性和功能性。柔性電子等離
MC方案｜AFM探針應(yīng)該如何清洗呢？2020/11/13
目前，越來越多的原子力顯微鏡被引入到各項(xiàng)研究中，但是相信很多科研人員會(huì)發(fā)現(xiàn)，做了幾次樣品后，針尖或者懸臂梁總會(huì)有東西粘附上去了，圖像質(zhì)量和原來的形貌出入太大，沒有多少細(xì)節(jié)，甚至出現(xiàn)雙針尖現(xiàn)象，這個(gè)時(shí)候，被污染的針尖已經(jīng)嚴(yán)重影響到實(shí)驗(yàn)。而AFM探針針尖應(yīng)該怎樣清洗才合適呢，這個(gè)問題一直困擾著科研人員。粒子探針一般采用的是紫外臭氧清洗技術(shù)來清洗有機(jī)物，紫外臭氧技術(shù)*是光子輸出，對(duì)探針表面不會(huì)造成任何損傷，是一種溫和的清洗方法。PSD和PSDP系列紫外臭氧系統(tǒng)通過產(chǎn)生185nm和254nm高強(qiáng)度UV光
MC方案｜如何快速無損測(cè)量多層鈣鈦礦薄膜厚度？2020/11/13
鈣鈦礦廣泛用于太陽能電池的開發(fā)。由于這些類型的太陽能電池具有良好的光伏性能，因此對(duì)它們進(jìn)行了系統(tǒng)的研究。鈣鈦礦薄膜的厚度和形態(tài)是影響太陽能電池性能的重要因素。人們發(fā)現(xiàn)，特別當(dāng)鈣鈦礦的厚度小于400nm時(shí)，鈣鈦礦太陽能電池的效率很大程度上取決于薄膜厚度；而當(dāng)鈣鈦礦的厚度大于400nm時(shí)，效率則很大程度上取決于鈣鈦礦層的薄膜形態(tài)。在本篇方案說明中，我們使用FR-pRoVIS/NIR測(cè)量鈣鈦礦薄膜的厚度。FR-pRoVIS/NIR測(cè)量方法：用于表征的樣品是兩種不同厚度的CH3NH3PbBr3鈣鈦礦薄膜
MC應(yīng)用｜Z受歡迎小型臺(tái)式等離子清洗機(jī)——表面改性2020/11/13
應(yīng)用領(lǐng)域Harrick等離子清洗機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，包括材料科學(xué)，聚合物科學(xué)，生物醫(yī)學(xué)，微流體技術(shù)，鈣鈦礦太陽能電池制備，光學(xué)器件，顯微鏡，牙科以及其他醫(yī)學(xué)研究等。離子表面改性表面改性的好處通過等離子處理來附著或吸附官能團(tuán)用以處理表面，改變特定應(yīng)用的表面性能。根據(jù)所使用的工藝氣體來定制引入官能團(tuán)，然后可以使用適當(dāng)?shù)臍怏w將表面潤(rùn)濕性更改為親水性或疏水性。潤(rùn)濕性的提高，通過改善表面的覆蓋范圍和涂層的延展性以及增強(qiáng)兩個(gè)表面之間的附著力，為后續(xù)處理（例如膜的沉積或分子吸附）做好準(zhǔn)備。等離子處理的實(shí)驗(yàn)結(jié)果對(duì)照
MC方案｜全新升級(jí)——旋轉(zhuǎn)噴淋式顯影方案2020/11/12
EDC濕法顯影刻蝕系統(tǒng)光刻膠顯影（KrF/ArF）SU8厚膠顯影顯影后清洗PostCMP清洗光刻膠去除金屬Lift-off處理刻蝕微刻蝕處理新一代的旋轉(zhuǎn)噴淋式濕法處理機(jī)臺(tái)，不僅jinque控制試劑注射，還能夠大大節(jié)約試劑，綠色環(huán)保的濕法處理方案。頂蓋閥門控制技術(shù)顯影液注射頭的位置我們采用dujia的VoD頂蓋閥門控制技術(shù)，確保在基片中心位置垂直向下噴射，確保樣片表面的試劑受力均勻性。VS其他廠商提供的噴射裝置參考如下圖，是從圓弧頂蓋的不同角度傾斜噴射時(shí)，樣片收集到的試劑量不均勻，接觸面受力也不均
MC方案｜如何從SU-8模具上進(jìn)行PDMS光刻復(fù)制？2020/09/23
PDMS是一種有機(jī)聚合物材料，廣泛應(yīng)用微流控芯片實(shí)驗(yàn)室。今天我們來介紹有關(guān)如何進(jìn)行PDMS光刻復(fù)制，也稱為軟光刻工藝，為您提供一些實(shí)驗(yàn)中的小技巧，優(yōu)化您的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。01硅烷化模具的制備*使用模具時(shí)，必須使其疏水。SU-8模具中的硅通常具有很強(qiáng)的親水性，因此PDMS對(duì)它有良好的親和力，其強(qiáng)度足以使之無法剝離，只能將模具破壞并從頭開始實(shí)驗(yàn)。這里我們使用硅烷功能，一旦在表面上yongjiu粘合，也可使接觸角超過90°，表面疏水?？梢允褂脷怏w或液體處理，即通過氣體或連續(xù)的液浴將硅烷功能鍵合在表面上。（*
MC方案｜MEMS應(yīng)用中懸浮活性硅膜厚度測(cè)量2020/09/23
懸浮活性硅膜厚度測(cè)量，適用于MEMS微機(jī)電系統(tǒng)應(yīng)用，光斑尺寸為25um。簡(jiǎn)介硅基底的傳感器因其高性能、低成本和小尺寸而廣泛應(yīng)用于不同的MEMS微機(jī)電系統(tǒng)。懸浮在圖案上的硅膜或基于SOI的傳感器上的活性硅層的厚度對(duì)于控制終平臺(tái)的性能至關(guān)重要[1]。在這里，我們已經(jīng)在一個(gè)MEMS微機(jī)電系統(tǒng)壓力傳感器上測(cè)量了硅薄膜厚度，使用的是孔徑為250μm的FR-μProbe，該工具安裝在一個(gè)徠卡分模光學(xué)顯微鏡上。使用10倍物鏡進(jìn)行測(cè)量，該物鏡與選定的孔徑大小一起對(duì)應(yīng)于25μm的光斑大小(測(cè)量區(qū)域)。使用內(nèi)部光源
MC方案｜MEMS應(yīng)用中懸浮活性硅膜厚度測(cè)量2020/09/23
懸浮活性硅膜厚度測(cè)量，適用于MEMS微機(jī)電系統(tǒng)應(yīng)用，光斑尺寸為25um。簡(jiǎn)介硅基底的傳感器因其高性能、低成本和小尺寸而廣泛應(yīng)用于不同的MEMS微機(jī)電系統(tǒng)。懸浮在圖案上的硅膜或基于SOI的傳感器上的活性硅層的厚度對(duì)于控制終平臺(tái)的性能至關(guān)重要[1]。在這里，我們已經(jīng)在一個(gè)MEMS微機(jī)電系統(tǒng)壓力傳感器上測(cè)量了硅薄膜厚度，使用的是孔徑為250μm的FR-μProbe，該工具安裝在一個(gè)徠卡分模光學(xué)顯微鏡上。使用10倍物鏡進(jìn)行測(cè)量，該物鏡與選定的孔徑大小一起對(duì)應(yīng)于25μm的光斑大小(測(cè)量區(qū)域)。使用內(nèi)部光源
MC方案｜光刻膠旋涂曲線如何獲得？2020/09/22
旋涂曲線（spincurve）是光刻膠重要參數(shù)之一，他給我們選擇光刻膠提供了重要的指導(dǎo)意義。所以我們來介紹一下什么是旋涂曲線？怎樣使用旋涂曲線？如何獲得旋涂曲線？什么是光刻膠旋涂曲線？顧名思義，光刻膠旋涂曲線就是在旋涂工藝下，光刻膠的厚度與勻膠轉(zhuǎn)速的關(guān)系曲線。一般來說，某一固定固含量的光刻膠在相同的勻膠條件下都會(huì)有一個(gè)相對(duì)穩(wěn)定的膜厚值。這個(gè)厚度隨著勻膠轉(zhuǎn)速的提高而降低。下圖是一個(gè)典型的光刻膠旋涂曲線：影響光刻膠旋涂曲線的因素主要有：光刻膠種類和固含量：一般來說，固含量越大，相同轉(zhuǎn)速下的厚度越厚，
MC方案｜如何快速準(zhǔn)確地測(cè)定光刻膠的對(duì)比度曲線？2020/09/22
納米制造使用光刻工藝(193nm，EUV，EBL等)涉及廣泛的材料、技術(shù)和相關(guān)的處理步驟，以便生產(chǎn)明確的納米結(jié)構(gòu)。光刻膠的光刻對(duì)比曲線是工藝優(yōu)化常用的參數(shù)之一。光致抗蝕劑的對(duì)比度曲線是顯影后剩余的抗蝕劑膜厚度，作為對(duì)數(shù)繪制的曝光劑量的函數(shù)[1]。測(cè)量方法:在本篇應(yīng)用案例中，使用EBPG-5000+電子束工具以100千電子伏的速度在不同的曝光劑量下對(duì)負(fù)性抗蝕劑進(jìn)行曝光，生成100×100μm正方形的陣列，每個(gè)正方形對(duì)應(yīng)不同的曝光劑量。在顯影步驟之后，使用FR-μ探針顯微光譜儀工具在每個(gè)正方形上測(cè)量
MC方案｜等離子處理中哪種頻率效果好？2020/09/16
等離子處理中哪種頻率效果好？中頻？射頻？微波？KHz，中頻產(chǎn)生等離子體能量大，主要是物理作用；MHz，射頻產(chǎn)生等離子體能量和密度居中,為物理和化學(xué)作用；GHz，微波產(chǎn)生等離子體能量小，密度高，主要為化學(xué)作用；40kHz、13.56MHz和2.45GHz等離子體激發(fā)頻率運(yùn)用：激發(fā)頻率為40kHz的等離子體即超聲等離子體清洗是以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗，也叫做濺射腐蝕（SPE）或離子銑（IM），其優(yōu)點(diǎn)在于本身不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，清潔表面不會(huì)留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化學(xué)純凈性。超聲等離子體清
MC方案｜鈣鈦礦太陽能電池制備指南2020/09/16
本篇介紹了使用I101鈣鈦礦前體油墨的鈣鈦礦太陽能電池制備過程，該油墨用于底部ITO/PEDOT：PSS陽極和頂部PC70BM/Ca/Al陰極。ITO/PEDOT：PSS/CH3NH3PbI3-xClx/PC70BM/Ca/Al詳細(xì)步驟如下：1.基板清潔：清潔預(yù)圖案化的ITO基板。將基板在1％的高溫（70°C）中超聲處理5分鐘。在沸騰的去離子（DI）水中漂洗底物兩次（轉(zhuǎn)儲(chǔ)沖洗），然后在IPA中進(jìn)一步超聲處理5分鐘，后在沸騰的DI水中漂洗兩次。使用壓縮氮?dú)飧稍锘摹?.PEDOT：PSS陽極制備：
MC方案｜如何對(duì)光學(xué)敏感材料進(jìn)行固化？2020/09/16
UV固化工藝是光化學(xué)反應(yīng)前沿的應(yīng)用，通過一定強(qiáng)度的紫外光照射,瞬間固化油墨、涂料、膠等相關(guān)化學(xué)品。隨著科技的發(fā)展，UV固化所涉及領(lǐng)域也更加廣泛，應(yīng)用于汽車、電子、通訊、航空航天、金屬、玻璃及塑料等制品的制造上。憑籍其對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)的提高和優(yōu)良的環(huán)境表現(xiàn)，以每年10%以上的速度替代傳統(tǒng)固化工藝。UV照射可硬化材料中的光起始劑吸收紫外線光譜(波長(zhǎng)200-400nm)中的某些特殊波長(zhǎng)的光而產(chǎn)生斷鍵情形,這些斷鍵的物質(zhì)再去撞擊單體和預(yù)聚合體而產(chǎn)生連鎖架橋反應(yīng),瞬間將此材料從液態(tài)變成固態(tài)。硬化"Curing"
MC方案｜ 白光反射光譜法（WLRS）測(cè)量薄膜疊層厚度2019/06/03
膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)xFR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-pRo系列
MC方案｜白光反射光譜法（WLRS）測(cè)量厚膜厚度2019/06/03
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)xFR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-uProbe系列
MC方案｜通過白光反射光譜（WLRS）和FR映射器繪制薄膜厚度2019/06/03
膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)x、FilmThicknessGauges【利用材料的折射率來計(jì)算的，非接觸式的膜厚測(cè)試儀】FR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-uProbe?系列
MC方案｜酒石酸-蘇氟酸陽極氧化的控制-用WLRS表征陽極涂層2019/06/03
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)x、FilmThicknessGauges【利用材料的折射率來計(jì)算的，非接觸式的膜厚測(cè)試儀】FR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-Scanner系列
MC方案｜FR監(jiān)測(cè)儀測(cè)量折射率以及薄膜厚度2019/06/03
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)x、FilmThicknessGauges【利用材料的折射率來計(jì)算的，非接觸式的膜厚測(cè)試儀】FR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-pRo系列
MC方案｜吸收法測(cè)定溶液中物質(zhì)濃度2019/06/03
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)x、FilmThicknessGauges【利用材料的折射率來計(jì)算的，非接觸式的膜厚測(cè)試儀】FR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-pRo系列
MC方案｜測(cè)量玻璃蓋卡瓦的厚度2019/06/03
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)xFR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-pRo系列
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