目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>> CY-CVD1500-60-300-3TH-Q1500℃單溫區(qū)3路質(zhì)量流量計(jì)高真空CVD系統(tǒng)
| 參考價(jià) | ￥ 50000 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
| ￥50000 |
| ≥1件 |
更新時(shí)間：2025-09-06 10:52:16瀏覽次數(shù)：128評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天 |
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1500℃單溫區(qū)3路質(zhì)量流量計(jì)高真空CVD系統(tǒng)爐管采用高純氧化鋁制成，爐體采用一體式設(shè)計(jì)，的設(shè)計(jì)能夠保證系統(tǒng)在1500℃運(yùn)行穩(wěn)定**，加熱元件采用高品質(zhì)硅碳棒，能夠達(dá)到1500℃高溫，若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達(dá)到更高的1700℃高溫。
系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計(jì)，精度高可靠性強(qiáng)，可以準(zhǔn)確混合1~3路氣體，操作面板采用數(shù)字顯示，直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。本系統(tǒng)還配有精密分子泵組，可以達(dá)到1.0E-3pa級(jí)別的真空度，較普通機(jī)械泵可以為用戶提供更純凈嚴(yán)苛的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測(cè)等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù)：
真 空 管 式 爐 產(chǎn)品型號(hào) CY-1500-60-300-Q 爐管材質(zhì) 高純氧化鋁 爐管直徑 60mm(可選配50mm、80mm、100mm) 爐管長(zhǎng)度 1000mm 爐膛長(zhǎng)度 400mm 加熱區(qū)長(zhǎng) 300mm 恒溫區(qū)長(zhǎng) 150mm 工作溫度 ≤1450℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 供 氣 系 統(tǒng) 產(chǎn)品型號(hào) CY-3Z 氣體通道 3通道 測(cè)量部件 氣體質(zhì)量流量計(jì) 測(cè)量量程 A通道：0～100SCCM H2氣 備注：如需其它量程或氣體種類(lèi)，定貨時(shí)需要特別注明?？筛鶕?jù)客戶的具體要求來(lái)選配對(duì)應(yīng)的氣體種類(lèi)和量程的流量計(jì)。 B通道：0～300SCCM N2氣 C通道：0～500SCCM Ar氣 測(cè)量精度 ±1.0%F.S 管道耐壓 3MPa 工作壓差 50～300KPa 連接管道 304不銹鋼 控制閥門(mén) 304不銹鋼針閥 接口規(guī)格 進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 供電電源 AC:220V 50/60Hz 排 氣 系 統(tǒng) 產(chǎn)品型號(hào) CY-GZK103-A 分子泵 CY-600 前極泵 旋片泵 抽氣速率 分子泵：600L/S 綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達(dá)：1.0E-3Pa 旋片泵：1.1L/S 抽氣接口 KF40 排氣接口 KF16 真空測(cè)量 復(fù)合真空計(jì)：電阻規(guī)+電離規(guī) 極限真空 1.0E-5Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz
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